最終更新日：08/05/24

　


製品紹介

FPD用異物検査装置
HS−830
Particle Inspection System for FPD

第10回アドバンスト ディスプレイ オブ ザ イヤー２００５（ＡＤＹ）優秀賞を受賞しました

TORAY HS-830 異物検査装置“HS-830”は、業界初のサブミクロン感度異物検査装置“HS-730”と同様に、当社独自の光学技術を採用したガラス基板上の異物検査装置で、従来比約４倍の高速検査を実現しています。

特徴

  1. 高速・高感度検査が可能
    例：86 秒（1100mm × 1300mm基板検査時）

  2. 従来のレーザ散乱方式に結像検出光学系を組み合わせた新しい検査方式により、高い検出信頼性と空間分解能を実現

  3. 高い空間分解能／レビュー機能
    異物の検出位置精度が高いため、従来タイプの検査装置では困難だった高倍率顕微鏡でのレビューが可能

  4. 総合倍率で最大2000 倍（14 インチモニタ換算時）の高倍率観察が可能なレビュー機能を標準装備

主な仕様

製品名/型式 FPD用異物検査装置 ＨＳ−８３０
検査方式 レーザ散乱/結像方式
検査項目 ガラス、クロム、ITO 基板上の異物の個数・位置・SMLクラス分け・異物検出マップ・ヒストグラム
検査感度 ０．３μｍ（標準粒子散布基板）
空間分解能 30μm□
対応基板サイズ＆実検査時間（高速検査モード時：1 μ m 感度） 400mm × 520mm　 ： 24sec
600mm × 720mm　 ： 41sec
730mm × 920mm 　： 55sec
1100mm × 1300mm ： 86sec
1600mm × 1800mm ： 144sec
表裏分離能 20 μ m（t=1.1mm）
16 μ m（t=0.7mm）
レビュー機能 標準装備
オプション

・ロ−ダ／アンローダ
・AGV/MGV対応
・ＣＩＭ対応
・表裏同時検査機能
・異物マップ比較機能

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

本製品の技術紹介ページ

異物検査装置HS-730：原理と応用例 (Technology of Particle Counter HS-730)

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　　〒520-2141 滋賀県大津市大江1丁目1番45号
　　東レエンジニアリング（株） エレクトロニクス事業本部 ディスプレイシステム営業部
　　　Tel:(077)544-1635 　Fax:(077)544-6091


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