異物検査装置 IQ-530

東レのガラス基板用異物検査装置”ＩＱ－５３０”は、空間フィルタ光学系を搭載した”レーザ散乱／結像方式”の採用により、従来タイプの異物検査装置に比べ、より信頼性の高い異物検査を高速・高精度で実行します。

製品名/型式	ガラス基板用異物検査装置ＩＱ－５３０
検査方式	空間フィルタ光学系搭載のレーザ散乱/結像方式
検査項目	各種基板上の異物の個数、位置、SMLクラス分類
検査感度	１μｍ
対応基板サイズ	～７５０×７５０ｍｍ（最大９００×１０００ｍｍまで製作可能）
検査速度	９６秒（基板サイズ：５５０×６５０ｍｍの場合）
表裏分離能	1.1mmtの場合１：２０μｍ； 0.7mmtの場合１：１６μｍ
レビュー機能	ズーム顕微鏡、カラーカメラ標準搭載
オペレーション画面	マルチウィンドウ対応（Windowsベース）
オプション	・ロ－ダ／アンローダ　　・ＡＧＶ対応　　・ＣＩＭ対応　・空間フィルタによるパターン基板上の異物検査
設置条件	温度：２５±４℃　湿度：３０～７０％　振動：振幅１０μｍ以下
本体サイズ	検査部　2540ｍｍ(W) × 1960ｍｍ(D) × 2140ｍｍ(H) 操作部　 600ｍｍ(W) ×　600ｍｍ(D) × 2000ｍｍ(H)
ユーティリティ	電源：ＡＣ200Ｖ、3相、５０／6０Ｈｚ、30Ａ圧空：５．０ｋｇ／ｃｍ２　以上真空：５００～６００ｍｍＨｇ排気：ファンによる強制排気