薄膜対応表面形状測定装置SP-700

ＳＰ－７００
Non-Contact Surface Profiler
for Thin-Film Covered Surfaces

“ＳＰ－７００”は、世界初の「薄膜対応表面形状測定装置」で、透明膜の表面形状、裏面形状、膜厚分布の同時測定が可能です。

透明膜で覆われた試料表面や、膜下パターンの３次元微細形状を非接触測定し、２次元・３次元表示するほか、各種粗さパラメータを計算します。

さらに、透明膜の膜厚分布を面内一括測定します。

１μm以下の薄膜でも測定可能です。

半導体、フィルム、光学部品、ＬＣＤ基板、ＰＤＰ基板などの３次元形状測定に最適です。

本装置は、表面形状測定装置ＳＰシリーズの最上位機種です。

光干渉法による非接触高精度３次元測定　
２次元カメラによる画面内一括高速測定
対物レンズ交換により視野サイズ可変
広い測定レンジ
日本語表示画面で、操作が容易
自動検査システムへの拡張可能
機器組み込み可能
１４０万画素カメラ対応（HRモデル）
通常の顕微鏡としても使用可能
透明薄膜の表面形状、裏面形状、膜厚分布の測定可能

モデル	ＳＰ－７００
測定原理	垂直走査型白色光干渉法
信号処理アルゴリズム	厚膜測定アルゴリズム（ＫＦ法）；薄膜測定アルゴリズム（ＮＦ法）など
適用対象	酸化膜ＣＭＰＭＥＭＳレジスト膜オーバーコート膜樹脂層間膜ガラス基板間接着層液晶セルギャップ液滴ウエット・コート・フィルムＡＲフィルム
測定・表示項目	①表面形状　②裏面形状　③膜厚分布
膜厚測定範囲	数十nm～４０μｍ　［オプション：～２００μｍ］
測定再現性	膜材質、膜形状、測定条件などに依存します。　σ＝０．３ｎｍ typ.
表示単位	０．０１ｎｍ
測定視野	対物レンズ、中間レンズの組み合わせで可変；　０．０８ｍｍＸ０．０７ｍｍ～約７ｍｍ角　［広視野モデルでは、３０ｍｍφ］
水平分解能	可変；最高５１２４８０画素　（高精細カメラは最高１３７６１０４０画素）
測定時間	測定レンジ、測定項目、精度、水平分解能などに依存します。
パソコン画面	日本語（オプション：英語）
パソコンＯＳ	Windows NT（日本語版）
標準装備	表面形状・裏面形状・膜厚分布の同時測定機能　その他の機能は、表面形状測定装置SP-500に準じます。
オプション	表面形状測定装置SP-500に準じます。

問い合わせ（営業窓口）：
　　〒520-2141 滋賀県大津市大江1丁目1番45号
　　東レエンジニアリング（株）エレクトロニクス事業本部 DP営業部ＭＥＤ課
　　　Tel:(077)544-1635 　Fax:(077)544-6091
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