最終更新日：12/01/01

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過去のトピックス('98/7-'10/12)

　

2010年

　 ■［講演］ 以下の講演が行われました。
  • 「ワンショット三次元計測」　第20回三次元工学シンポジウム
    http://www.adcom-media.co.jp/ite/sanjigen.html
    12/9(木) 11:20～12:00 パシフィコ横浜　展示ホール2階 アネックスホールF204
  • 「3波長ワンショット干渉計測によるインクジェット方式カラーフィルタの膜厚測定」
    ViEW2010　ビジョン技術の実利用ワークショップ 　
    http://www.tc-iaip.org/view2010/
    12/10(金) 15:25～15:45 パシフィコ横浜　展示ホール2階 アネックスホール
　 ■［講演］ 以下の講演が行われました。
  • 「３波長ワンショット干渉法に基づいたインクジェット方式カラーフィルタ自動膜厚測定装置の高速化－多波長帯域フィルタとGPUの利用－」,精密工学会2010年秋季大会学術講演会（2010.9.27-29；名古屋大学)
    【講演者の杉原洋樹が、ベストプレゼンテーション賞を受賞しました。】
  • 「広域モデル適合による多波長ワンショット干渉測定」，同上
　 ■［記事掲載］ 以下の論文記事が掲載されました。
  • 「半導体・液晶プロセスにおける干渉計測の応用」, 月刊オプトロニクス, 2010年8月号, 117-123 (2010)
　 ■［講演］ 以下の講演が行われました。
  • 「インクジェット方式カラーフィルタの自動膜厚測定装置－３波長ワンショット干渉計測法の応用－」,光計測シンポジウム2010 （2010.6.9；パシフィコ横浜　アネックスホール)
　 ■［講演］ 以下の講演が行われました。
  • 「３波長ワンショット干渉計測を利用したインクジェット方式カラーフィルタの自動膜厚測定装置」,精密工学会春季大会学術講演会（2010.3.16-18；埼玉大学)
  • 「共焦点反射方式によるガラス応力測定装置」，同上
　 ■［講演］ 以下の講演が行われました。
  • 「重み付き局所モデル適合法によるワンショット表面形状測定」,動的画像処理実利用化ワークショップ DIA2010（2010.3.4-5；ぴゅあ総合-男女共同参画推進センター；甲府)
　 ■［記事掲載］ 以下の論文記事が掲載されました。
  • 「白色干渉法による高速表面形状測定の応用＝透明膜厚の膜形状計測＝」、光アライアンス、2010年3月号, 28- (2010)

2009年

　 ■［展示会出展］
　セミコンジャパン2009へ出展致しました。http://www.semiconjapan.org/sj-jp/index.htm
　 12/2～12/4　幕張メッセ　
  • ブースNo, 3A-504 (TORAY/TRC/TEK)
  • ブースNo, A-8（模造品対策コーナー)　

　●出展社セミナー
　　①12/2(水)15:30～16:20　ルーム2
　　　表面形状およびガラス応力測定技術　～バンプ・薄膜の微細形状測定とMEMS・CISのガラス応力測定の紹介～

　　②12/3(木)14:00～14:20　特設パビリオン
　　　金属ナノインクによるチップ毎のIDマーキング

　　③12/4(金)11:30～12:20　ルーム1
　　　SiC、LED本格量産化に求められる検査技術～パワー系、エコデバイス向け外観検査、3D測定技術のご紹介～

　
　 ■［講演］ 以下の講演が行われました。
  • 「最終外観検査における裏面・エッジ・表面検査技術」、Electronic Journal 第221回 Technical Symposium (2009/10/21)
　 ■［講演］ 以下の講演が行われました。
  • Multi-Wavelength Single-Shot Interferometry, ISOT 2009 (International Symposium on Optomechatronic Technologies) (2009.9; Istanbul) 【Innovation Award Nominated 】
　 ■［論文掲載］ 以下の論文が掲載されました。
  • 「位相勾配検出による干渉縞画像の２次元周波数推定」、計測自動制御学会産業論文集, vol. 8 (13), pp.108/112 (2009)
  • 「３波長干渉計測のためのクロストーク補正」、計測自動制御学会産業論文集, vol. 8 (14), pp.113/116 (2009)
　 ■［展示会出展］
  • PVJapan 2009に出展しました。
    6月24日(水) ～26日(金)　幕張メッセ

　 ■［講演］ 以下の講演が行われました。
　 ■［特許成立］ 表面形状測定装置 SP-500に搭載されているSBアルゴリズムが、日本特許として登録されました。
　 ■［展示会出展］
  • ファインテック・ジャパンに出展しました。
    4月15日(水)～4月17日(金)
    東京ビッグサイト（ブースNo.30-4）
　 ■［講演］ 以下の講演が行われました。
  • 「ワンショット表面形状測定における局所モデル適合法の誤差解析」,精密工学会春季大会学術講演会（2009.3.11-13；中央大学)
  • 「位相勾配検出による干渉縞画像の２次元周波数推定」，同上
　 ■［論文掲載］ 以下の論文が掲載されました。
  • 「位相シフト法による透明膜に覆われた物体の膜厚と表面形状の同時測定」.計測自動制御学会論文集, vol.45, no.2
　 ■［講演］ 以下の講演が行われました。
  • Invited talk: "Recent Trends in Super-Precision 3D Measurement Technology - Innovative Algorithms for Optical Interferometry and their Applications-", FCV 2009(15th Japan-Korea Joint Workshop on Frontiers of Computer Vision),Korea Student Advancement Center, Andong, Korea (Feb.5-7, 2009)
　 ■［論文掲載］ 以下の論文が掲載されました。
  • 「２波長ワンショット干渉計測」、精密工学会誌, vol.75, No.2. 273-277 (2009)
  • 解説論文「画像基礎アルゴリズムの新展開」、精密工学会誌, vol.75, No.2. 233-236 (2009)

2008年

　 ■［講演］ 以下の講演が行われました。
　 ■［展示会出展］
  • Semicon JAPANに出展しました。
    12月3日(水)～5日(金)　幕張メッセ
    ホール３　ブース番号：３Ａ－５０８

    出展内容　：
    １）インスペクトラ（最新装置の実機展示、パネル展示）
    ２）３次元表面形状測定装置ＳＰシリーズ（セミオート機ＳＰ－７００Ａ実機展示、パネル展示）
    ３）ウェハータイトラー（パネル展示）
    ４）チップ外観検査装置ＧＥＮ３０００（パネル展示）
    ５）ガラス応力測定装置（パネル展示）
    ６）酸素濃度計ＬＣ－４５０（実機展示、パネル展示）
    ７）ＰＩエッチング技術の紹介 バンプ付き微細パターンＦＰＣの展示（パネル展示）

    出展社セミナー：１２月４日（金）１４:３０～１５:２０
    テーマ「注目されているＭＥＭＳ／ＣＩＳチップ、車載向けチップなどの全数検査および測定技術について」
　 ■［新製品発表］
  • 10月28日、ガラス応力測定装置を発表しました。
　 ■［記事掲載］ 以下の論文記事が掲載されました。
  • 「２波長ワンショット干渉計測」、画像ラボ、2008年10月号、37-43 (2008)
　 ■［講演］ 以下の講演が行われました。
  • 精密工学会秋期大会：「3波長ワンショット形状計測法」 （2008.9.17-19；東北大学）
  • 同：「透明膜で覆われた物体のワンショット干渉計測法」（同）
　 ■［展示会出展］
  • Semicon TAIWAN に出展しました。　9月9日(火)～11日(木)　
　 ■［展示会出展］
  • マイクロマシン展に出展しました。　　7月30日(水)～8月1日(金)　東京ビッグサイト
　 ■［講演］ 以下の公開講義が開催されました。
　 ■［記事掲載］ 以下の論文記事が掲載されました。
  • 「光干渉法による透明膜の三次元形状測定」、光アライアンス、2008年7月号, 7-13 (2008)
　 ■［講演］ 以下の講演が行われました。
  • 光計測シンポジウム：「２波長ワンショット干渉法による表面形状測定」 （2008.6.11; パシフィコ横浜）
　 ■［展示会出展］ ファインテック・ジャパン（フラットパネル・ディスプレイ研究開発製造技術展）に出展しました。
  • 会期： 4月16日（水）～18日（金） 10:00～18:00（最終日18日は17:00まで）
  • 会場： 東京ビッグサイト（東４ホール　２８－２８ ）
  • 出展内容：異物検査装置ＨＳ－８３０；表面形状測定装置ＳＰ－７００　　
　 ■［講演］ 以下の講演が行われました。
  • 精密工学会春季大会シンポジウム：「光干渉式表面性状測定機の今後」 （2008.3.17; 明治大学）

2007年

［展示会出展］ SEMICON Japan 2007に出展しました。ご来場有り難うございました。
  • 会期： 12/5(水) ～ 12/7（金) 10:00 ～ 17:00
  • 会場： 幕張メッセ (３ホール　３Ｄ－６１７)
［講演］ 以下の講演・発表が行われ、優秀論文賞「小田原賞」第２位を受賞しました。
［講演］ 以下の特別招待講演が行われました。
  • 2007国際画像セミナー： 特別招待講演 「画像処理25年を振り返って－回顧と展望－」（2007年12月6日　12-12:50　パシフィコ横浜)

［ニュース］ EJ Daily News 12月3日号、４日号に以下の記事が掲載されました。
  • 東レエンジ、複数の国内メーカーから外観検査装置を受注
    東レエンジニアリングは11月30日、パターン付きウェーハ外観検査装置の最新機種「INSPECTRA 7000R」を、300mmラインを持つ複数の大手国内メーカーから受注したと発表した。各ラインではすでに安定稼働を続けている。7000Rは高速全数/高感度検査が可能で、国内外から多数の引き合いがあるという。(Electronic Journal Daily News 2007年12月3日号)

  • 東レエンジ、台湾メーカーから外観検査装置を複数台受注
    東レエンジニアリングは11月30日、パターン付きウェーハ外観検査装置「INSPECTRA」シリーズを、台湾の大手メモリメーカーから複数台受注したと発表した。すでに稼働を始めており、今後も順次納入を予定しているという。(Electronic Journal Daily News 2007年12月4日号)
［講演］ 以下の講演・発表が行われました。
  • ISOT 2007 (International Symposium on Optomechatronic Technologies ): [Invited Paper] "Thin Film Thickness Profile Measurement using an Interferometric Surface Profiler", (Oct. 8-10, Lausanne Switzerland)
［講演］ 以下の講演・発表が行われました。
  • 精密工学会 2007年度秋季大会学術講演会：「白色干渉法による透明膜の膜厚と屈折率の同時計測」（9/12-14、旭川）
  • 精密工学会 2007年度秋季大会学術講演会：キーノートスピーチ「干渉計測における技術開発と課題」（9/12-14、旭川）
  • 計測自動制御学会学術講演会："Two-Wavelength Single-Shot Interferometry"（9/18-20、香川大学）
［特許成立］ 表面形状測定装置 SP-700に搭載されている透明膜測定アルゴリズムが、日本特許として登録されました。
［展示会出展］ 第１８回マイクロマシン／ＭＥＭＳ展に出展しました。ご来場有り難うございました。
  • 開催場所：東京ビッグサイト　西ホール
  • 開催期間：2007-7-25(水)～2007-7-27(金)　10:00～17:00
  • 小間番号：E-026
  • 出展内容：表面形状測定装置SP-700　
［お知らせ］ 本サイトのURLが6月20日に変更されました。
［展示会出展］ JPCA Show 2007　FPC技術展に出展しました。
  • 開催場所：東京ビッグサイト
  • 開催期間：2007-5-30(水)～2007-6-1(金)　10:00～17:00
  • 小間番号：2D-20
  • 出展内容：
    表面形状測定装置SP-700　
    ガラス応力測定装置
    両面プロキシミティ露光装置
    COF用片面プロキシミティ露光装置
    ポリイミドエッチング液
    真空印刷機　“VE500シリーズ”
    フリップチップボンダー
［講演］ 以下の講演・発表が行われました。
［展示会出展］ ファインテック・ジャパン（フラットパネル・ディスプレイ研究開発製造技術展）に出展しました。多数のご来場ありがとうございました。
  • 会期： ４月１１日（水）～１３日（金） 10:00～18:00（最終日13日は17:00まで）
  • 会場： 東京ビッグサイト（東１ホール　１６－４ ）
  • 出展内容：
    COＧボンダー　(FG2000,FG3000,CL2000FW)　パネル展示
    フィルムディスプレイ/FPC/COF用プロキシミティ露光装置（TE2538AP）　パネル展示
    表面形状測定装置（SP-700）　実機展示
    ＦＰＤ用異物検査装置（HS-830）　パネル展示
    インナーガラスマーカー（TGTシリーズ）　パネル展示
    全面膜厚測定装置（FTMシリーズ）　実機展示
    ＴＳコーター（TORAY Slit-nozzle Coater）　パネル展示

［講習会］ 技術情報協会主催のセミナー 「表面形状・膜厚分布測定の正しい測定手法 および 上手な装置の取り扱い方」が開催されました。詳細は、こちら。

［講演］ 以下の講演・発表が行われました。
  • 精密工学会 2007年度春季大会学術講演会：「急峻な段差を持つ表面のワンショット形状計測法」（3/20-22; 芝浦工業大学）
  • DIA2007動的画像処理実利用化ワークショップ： 「透過干渉法による透明フィルムの膜厚分布測定」（3/8-9; 北海道大学）
［講演］ 以下の講演・発表が行われました。
  • 画像応用技術専門委員会研究会：研究報告 「光干渉による透明膜の３次元形状測定」（1/26; 東京電機大学）
  • 知能メカトロニクス専門委員会：特別講演「超精密３次元形状計測の最新動向」（1/17; 香川大学）
［ニュース］ 2006年世界LCD製造装置メーカー売上高ランキングで当社が第７位に。

2003年9位、2004年9位、2005年の8位から、2006年はLCD製造装置売上高（見込）が45,000百万円となって、第７位にランクアップした模様。

2006年

［展示会出展］ SEMICON Japan 2006に出展しました。多数のご来場ありがとうございました。
  • 会期： 12/6(水) ～ 12/8（金) 10:00 ～ 17:00
  • 会場： 幕張メッセ (ブース# 3C-801、9A-209)
  • 出展者セミナー：12月7日（木）15:30-16:20

［講演］ 以下の講演・発表が行われました。
  • ビジョン技術の実利用ワークショップ ViEW2006：基調講演 「超精密３次元形状計測の最新動向－白色干渉における革新的アルゴリズムの開発とその応用－」（12/7; パシフィコ横浜）
  • 同上：インタラクティブ・セッション「ランダムパターン上の顕著な欠陥の検出」（外観検査アルゴリズムコンテスト 次点作品）（12/8; パシフィコ横浜）
［新刊］ 以下の書籍が出版されました。いずれにも当社表面形状測定装置SP-500が紹介されています。
［講演］ 技術情報協会主催のセミナー 「μ～ｎオーダーの表面形状・膜厚分布測定ノウハウ」が開催されました。詳細は、こちら。

［講演］ 以下の講演が行われました。
  • [Invited Talk] Recent trends in white light interferometry, Optics East Conference 6382 (2006.10.1 Boston)
  • [Invited Talk] Simultaneous Measurement of Film Surface Topography and Thickness Variation using White-Light Interferometry, Optics East Conference 6375A (2006.10.3 Boston)
  • [Invited Talk] Recent Advances in White-Light Interferometry - Speed Improvement and Transparent Film Profiling -, OSA OF&T (2006.10.11 Rochester,NY)

［展示会出展］ Semicon West(7/10-14; サンフランシスコ）に出展しました。


［講演］ 平成18年6月8日(木)-9日(金)、パシフィコ横浜ハーバーラウンジＢで開催された 「光応用技術シンポジウム　Senspec2006」において、「光干渉計測と膜形状測定への応用」と題して講演しました。
［講演］ 平成18年6月7日（水）、パシフィコ横浜展示場2階アネックスホールで開催された 「光計測シンポジウム2006」において、「白色干渉計測原理を用いたウエハ用自動バンプ検査装置による高精度バンププロセスの管理 」と題して講演しました。
［展示会出展］ ファインテック・ジャパン（フラットパネル・ディスプレイ研究開発製造技術展）に出展しました。多数のご来場ありがとうございました。

  • 会期： ４月１９日（水）～２１日（金）10:00～17:00
  • 会場： 東京ビッグサイト（ブース：東４ホール　３７－４）
  • 薄膜対応表面形状測定装置 SP-700（新製品）の実機展示
［プレスリリ－ス］新製品として、薄膜対応表面形状測定装置 SP-700を新聞発表しました。(2006/4/17)


［講演］ 技術情報協会主催のセミナー 「光学部材・ディスプレイ・半導体における表面形状と膜厚分布測定技術」が開催されました。詳細は、こちら。

［講演］ 以下の講演が行われました。
  • 2006年度精密工学会春季大会シンポジウム「表面形状/性状測定の先端ハードウェア技術と測得データの解析技術」において、「表面形状と膜厚分布計測の最近の話題」（3/15; 東京理科大学）

  • 2006年度電子情報通信学会 総合大会 パネル討論「信号・画像の離散化、特に量子化法についての討論」において、「標本化定理の産業応用－光干渉計測における新しい信号処理アルゴリズム－」（3/24; 国士舘大学）

2005年

［展示会出展］ SEMICON Japan 2005に出展しました。 多数のご来場ありがとうございました。
  • 会期： 12/7(水) ～ 12/9（金) 10:00 ～ 17:00
  • 会場： 幕張メッセ（ブース：＃７ホール　7A-301）
  • 出展者セミナー：12月8日（木）12:30-13:20 自動バンプ検査装置　ＳＰ－５００ＢＷ
表面形状測定装置 "SP-500"の高さデータファイルを、三谷商事株式会社殿製「三次元表面形状解析システム SurftopEye」で読み込めるようになりました。これにより、多彩な３次元表示や高度な粗さパラメータ計算が可能になりました。
［講演］ 株式会社情報機構主催のセミナー 「光学部品、ディスプレイ、薄膜表面における微細表面形状の測定法」(11/30; 東京）で、表面形状測定装置SP-500と膜形状測定装置SP-500Fの詳細が講義されました。
［カタログ展示］ ２００５年度 精密工学会秋季大会 (9/15-17; 京都大学）に表面形状測定装置 SP-500をカタログ展示しました。


［展示会出展］ セミコン台湾 2005 (9/12-14; 台北国際展示場; 崇越科技ブース）にウエーハ外観検査装置‘Inspectra-EXII’を出展しました。ご来場、ありがとうございました。


［展示会出展］ Semicon West(7/12-14; サンフランシスコ）に出展しました。ご来場、ありがとうございました。



［講演］ 平成17年6月8日（水）、パシフィコ横浜展示場2階アネックスホールで開催された 「2005光計測シンポジウム」において、「膜形状測定装置ＳＰ－500Ｆを用いた透明膜形状測定」と題して講演しました。


［受賞］ FPD用異物検査装置 HS-830が、第10回アドバンスト ディスプレイ オブ ザ イヤー２００５（ＡＤＹ）優秀賞を受賞しました。

［展示会出展］

ファインテック・ジャパン（フラットパネル・ディスプレイ研究開発製造技術展）に出展しました。多数のご来場有り難うございました。

  • 会期： ４月２０日（水）～２２日（金）　10:00～17:00
  • 会場： 東京ビッグサイト（東１ホール　２３－４）
  • 展示内容：異物検査装置HS-830、３次元表面形状測定装置SP-500シリーズ、FPDパターン外観検査装置FI-500、色むら検査装置MC724、全面膜厚検査装置、プローブ、２次元コードマーキングシステムなど
［講演］ 次の技術発表を行いました。
  • 精密工学会春期大会： 2005/3/16 （慶応大学）

［講演］ 技術情報協会主催のセミナー 「光学部材・ＦＰＤ・半導体の微細表面形状・膜厚分布測定」で、表面形状測定装置SP-500と膜形状測定装置SP-500Fの詳細が講義されました。
［展示会出展］ 国際ナノテクノロジー総合展に出展しました。多数のご来場有り難うございました。
  • 会期： 2/23(水) ～25（金) 10:00 ～ 17:00
  • 会場： 東京ビッグサイト（ブース：東5ホール）

2004年

［講演］ 次の講演を行いました。
［展示会出展］ SEMICON Japan 2004に出展しました。多数のご来場有り難うございました。
  • 会期： 12/1(水) ～ 12/3（金) 10:00 ～ 17:00
  • 会場： 幕張メッセ（ブース： ＃６ホール　6A-204）
  • 出展者セミナー：12/2(木) 11:30～12:20
［カタログ展示］ 次の学会でカタログ展示しました。
［講演］ 次の技術発表を行いました。
  • 計測自動制御学会学術講演会： 2004/8/5（北海道工業大学）
  • 精密工学会秋期大会： 2004/9/17 （島根大学）

［展示会出展］ 次の展示会に出展しました。ご来場、ありがとうございました。
  • ファインテック：6/30-7/2（東京ビッグサイト） [小間番号：東４ホール３－４］
    展示内容：異物検査装置HS-730、膜形状測定装置SP-500F、スリットダイコータTSCoater、LCD点灯検査装置、プローブ、タイトラーなど。形状測定装置SP-500Fの実機展示では、液膜の表面形状、裏面形状（膜下形状）、膜厚分布の同時測定をデモしました。
［お詫び］ ６月９日以来、本サイトの問い合わせのページ経由などでtorayins@mx.scn.tv宛に送信されたメールが届いていないというトラブルが発生しました。原因は、ウイルスメール蔓延のため、プロバイダのメールボックスがオーバーフローしたためです。本日、復旧しましたが、ご迷惑をお掛けした皆様にお詫びします。(2004.6.24)

［展示会出展］ 次の展示会に出展しました。ご来場、ありがとうございました。
  • ＪＰＣＡショー：6/2-4（東京ビッグサイト）[小間番号：東５ホール５Ｂ－１４］
［講演］ 次の技術発表を行いました。
  • 学術振興会 産業計測第36委員会 第362回研究会： 2004/5/28（弘済会館）
  • ナノテクノロジー研究会： 2004/6/2 （信濃川テクノポリス開発機構）

表面形状測定装置ＳＰ－５００の高速化アルゴリズム（ＳＢ法）が、「手島記念発明賞」を受賞しました。(2004/3/15)

［講演］ 次の技術発表を行いました。
  • センシング技術応用研究会 第140回研究例会： 2004/2/20（大阪産業創造館）
  • 精密工学会春季大会シンポジュウム「産業応用分野における光学的３Ｄ形状計測技術」： 2004/3/18 （東京大学本郷キャンパス） 参考

2003年

12月4-5日、パシフィコ横浜で開催された「ビジョン技術の実利用ワークショップ」において発表した論文「白色光干渉法による透明膜形状計測」が優秀論文賞「画像応用技術専門委員会 小田原賞」を受賞しました。(2003/12) 参考
新製品として、自動バンプ検査装置 SP-500BWとウエーハエッジ検査装置 WE-1000を新聞発表しました。(2003/12)
［講演］ 次の技術発表を行いました。
  • 光応用技術シンポジウム Senspec2003： 2003/12/3-4（パシフィコ横浜） 詳細
  • ビジョン技術の実利用ワークショップ ViEW2003： 2003/12/4-5（パシフィコ横浜） 詳細
［プレゼン］ セミコン・ジャパンの出展者セミナーで、下記の発表をしました。ご来聴、ありがとうございました。

　日時：１２／５（金）１１：３０～１２：２０
　内容：新製品 「バンプ検査装置」　ＳＰ－５００ＢＷ
　場所：Ｈａｌｌ ７　Ｒｏｏｍ ４
［展示会出展］ 次の展示会に出展しました。ご来場、ありがとうございました。
  • セミコン・ジャパン：12/3-5（幕張メッセ）[小間番号：６－Ａ３０１］
  • 国際画像機器展：12/3-5（パシフィコ横浜）［カタログ・コーナー］
本サイトに、表面形状測定装置SP：応用例のページを新設しました。(2003/10)
9月16-17日、東京農工大で開催された第20回センシングフォーラム（計測自動制御学会主催）において、「白色干渉法による透明膜の形状・膜厚同時測定」を講演発表しました。(2003/9)
［展示会出展］ 次の展示会に出展しました。ご来場、ありがとうございました。
  • Semicon West：7/14-16（サンフランシスコ）
  • ファインテック：7/2-4(東京ビックサイト)
  • 光ナノテク展：6/19-21（パシフィコ横浜；溝尻光学殿ブース）
  • JPCAショー：6/4-6(東京ビックサイト)
  • 第2回国際バイオEXPO：5/14-16(東京ビックサイト)
昨年秋、表面形状測定装置 SP-500 の透明膜測定用ソフトウェアを発売し、ご好評を戴いておりますが、このたび、本ソフトウエア搭載の装置を「膜形状測定装置 SP-500F」の商品名で販売することに致しました。詳細は問い合わせのページからどうぞ。 (2003/3)

表面形状測定装置 "SP-500 "の高速化信号処理アルゴリズム（ＳＢ法）が、米国特許として登録されました。(2003/2)

2月26日、当社で開催された「ディジタル・イメージング実利用化研究会」で表面形状測定装置 "SP-500 "と、その膜厚測定への応用について講演発表しました。(2003/2)

ＦＰＤ基板外観検査装置 FI-500 を新聞発表しました。(2003/2)

パターン付きウエーハ外観検査装置の次世代最新機種 INSPECTRA-1000EXを新聞発表しました。(2003/2)

表面形状測定装置 "SP-500"用に開発された「透明膜（厚膜）測定アルゴリズム」による測定例を３Ｄミュージアムに掲載しました。ウエーハ上の酸化膜の膜厚、およびＬＣＤセルギャップの間隙分布を測定したものです。(2003/2)

2002年

表面形状測定装置 "SP-500"の高さデータファイルを、走査型プローブイメージプロセッサー“ＳＰＩＰ”（Image Metrology社製）で読み込めるようになりました。これにより、より多彩な３次元表示や高度な統計処理が可能になりました。“ＳＰＩＰ”の日本総代理店はこちらです。サンプル画像を３Ｄミュージアムに追加しました。(2002/12)

［展示会出展］
SEMICON Japan 2002に出展し、無料セミナーも開催しました。多数の方に、ご来場いただき、ありがとうございました。当社ブース
  • 会期： 12/4(水) ～ 12/6（金) 10:00 ～ 17:00
  • 会場： 幕張メッセ
  • ブース： ＃５ホール　B401（東レグループ 共同出展）
  • 実機出展： パターン付きウエーハ外観検査装置の次世代最新機種 INSPECTRA-1000EX
表面形状測定装置 "SP-500"の「透明膜（厚膜）測定アルゴリズム」を開発し、オプション・ソフトウェアとして発売しました。これにより、従来困難であった基板上の透明膜（数百nm以上）の表面形状、裏面形状、膜厚分布を同時測定することが可能になりました。(2002/11)

表面形状測定装置SP-500シリーズの新しいカタログが完成しました。ご希望の方は、本サイトの問い合わせのページからお申し込み下さい。(2002/11)

［展示会出展］ 次の展示会に出展しました。ご来場、ありがとうございました。
  • 全科展in東京 2002
    会期：11/20（水）～11/22（金） 9:30～17:30
    会場：東京ビッグサイト
［展示会出展］
次の展示会に出展しました。ご来場、ありがとうございました。
当社ブース LCD/PDP International 2002
会期：10/30(水) ～ 11/1(金)
会場：パシフィコ横浜（ブース：No.522）
セミナー：テクニカルセッション　10/31(木) 12:30 ～ 13:15　シアターB
［展示会出展］
セミコン台湾での当社ブース9/16～18　台湾台北市で開催されたセミコン台湾に出展しました。ご来場、ありがとうございました。
表面形状測定装置"SP-500" 関連の新製品として、表面形状測定モジュール"SP-500M"、FPD用表面形状測定装置"SP-500L" を開発し、発売しました。(2002/8)
［展示会出展］
下記の通り、SEMICON WESTに出展しました。
・サンノゼ （7/17-19）：ブース＃９７１０Ａ　（ボンダーなど）
・サンフランシスコ （7/22-24）：ブース＃６４５４　North Hall　（検査機器、タイトラーなど）
［展示会出展］
ファインテックでの当社ブースファイン・プロセス・テクノロジー・ジャパン(7/3-5;東京ビッグサイト)に、新製品の「広視野表面形状測定装置SP-530」などを出展しました。

また、会場内で、7月4日（木） 11:00～12:00に、『東レエンジニアリング検査装置セミナー』を開催し、「基板異物検査装置」、「ＦＰＤパターン検査装置」、「膜厚測定装置」、「表面形状測定装置」を紹介しました。多数のご来聴、ありがとうございました。
［展示会出展］
ＪＰＣＡショー(6/5-7;東京ビッグサイト)に、新製品の基板表面形状測定装置SP-500Pなどをパネル出展しました。多数のご来場、ありがとうございました。

　
［プレゼン］ ＪＰＣＡ Show ＮＰＩプレゼンテーション（出展者セミナー）で、下記の発表をしました。
　日程 ： ６月６日（木） 15:40～16:10
　会場 ： 東京ビッグサイト　東展示棟２階常設商談室 Ｅ会場
　題目：　３次元形状検査装置を応用したバンプ検査装置（SP-500B）
米国ボストンで開催されたＳＩＤにおいて、基板異物検査装置HS-730を発表

5/19～5/24、Boston／Hynes Convention Centerで開催されたSociety for Information Display（ＳＩＤ）において、"Next-Generation Particle Inspection System HS-730 for FPD Glass Plates"と題して発表しました。また、併催の展示会にもパネル出展しました。
［展示会出展］
マイクロエレクトロニクスショー（2002/4/17-19開催）に、バンプ検査装置SP-500Bをパネル出展しました。多数のご来場、ありがとうございました。
［東京地区デモ］ （終了しました）
４月１５日から１週間の予定で、表面形状測定装置SP-500を東京地区に設置し、デモ＆サンプルテストをお引き受けします。概要は次の通りです。ご希望のお客様は、本サイトの問い合わせのページから、お早めにお申し込み願います。
・期間：４月１５日（月）～１９日（金）
・場所：弊社東京オフィス（神田／日本橋）
・内容：装置デモ＆サンプルテスト（予約制；お客様別に約２～３時間）

なお、これまで通り、瀬田工場（滋賀県大津市）でのデモ＆サンプルテストは可能です。
表面形状測定装置 の新モデルとして、140万画素高精細カメラ対応モデル"SP-500HR"を開発し、発売しました。(2002/2/13)

東工大 フロンティア創造共同研究センター（http://www.fcrc.titech.ac.jp）発行「東工大テクノロジー」最新号(Vol.4)に表面形状測定装置 "SP-500 "が紹介されました。
東レエンジニアリング（株）エレクトロニクス事業本部のパンフレット「エレクトロニクス事業 概要」が発行されました。ご希望の方は、本サイトの問い合わせのページからお申し込み下さい。

2001年

12月6-7日、パシフィコ横浜で開催された「外観検査自動化ワークショップ」で表面形状測定装置 "SP-500 "を講演発表し、優秀論文ベスト３に選ばれました。
［展示会出展］
・セミコンジャパン：2001/12/5-7、幕張メッセ［ブース 5-A202］
　INSPECTRA、SP-500を出展しました。
・画像処理機器展：2001/12/5-7、パシフィコ横浜［ブース 103］
　SP-500を出展しました。
10月3-4日、北大で開催された「センシングフォーラム」で表面形状測定装置 "SP-500 "を講演発表しました。
9月22日、九州産業大学で開催された鉄鋼協会秋期講演大会シンポジウムで特別講演しました。

［展示会出展］01/9/17-19、台北で開催されたセミコン台湾にウエーハ検査装置INSPECTRAなどを出展しました。
このサイトのＵＲＬが http://www.scn.tv/corp/torayins/ に変更されました。(2001/8/25)
上記をクリックし、移動後、お気に入りサイトに再登録願います。なお、当分は旧ＵＲＬの http://www.cable-net.ne.jp/corp/torayins/ も有効です。
表面形状測定装置 "SP-500 "で使用されている信号処理アルゴリズムをサンジエゴで開催のSPIE 2001で講演発表しました。(2001/8/1)

新製品2機種、基板異物検査装置 "HSシリーズ"と表面形状測定装置 "SP-500DS"を新聞発表 （半導体産業新聞 2001/7/18付け）
基板異物検査装置の新シリーズ"HS series"と、表面形状測定装置の2倍速機"SP-500DS"を発売しました。また、ファインテックに出展しました。
表面形状測定装置 "SP-500 "の発表論文が2001年度計測自動制御学会学会賞（技術賞）を受賞しました。（学会の会告：http://www.sice.or.jp/info/kaikoku/200110award.html）
［展示会出展］01/7/16-18、サンフランシスコで開催されたセミコン・ウエストに、表面形状測定装置 "SP-500 "を出展しました。［Booth #-4235, Esplanade Hall］
［展示会出展］01/7/17-19、東京ビッグサイトで開催されたフラットパネルディスプレィ製造技術展（ファインテック）に、ＦＰＤ関連検査機器を出展しました。
［展示会出展］01/7/16-19、幕張メッセで開催されたインターオプトに、"SP-500 "をパネル出展しました。

6月21日、香川大学で開催された電子情報通信学会 パターン認識・メディア理解(PRMU)研究会で特別講演しました。
表面形状測定装置 "SP-500 "を6月6日、パシフィコ横浜で開催の光計測シンポジウム2001で講演発表しました。

表面形状測定装置 "SP-500 "を国際学会で発表
５月１４～１７日、米国オーランドで開催された標本化定理に関する国際学会(SampTA 2001)において講演発表しました。
表面形状測定装置 "SP-500 "を学会発表
５月８～１０日、大阪で開催された第４５回システム制御情報学会研究発表講演会(SCI 2001)において講演発表しました。
「検査装置事業が好調　今期売上高 過去最高の見込み」との新聞記事 （半導体産業新聞 2001/2/28付け）

新製品バンプ検査装置 "SP-500B"を新聞発表 （半導体産業新聞 2001/2/21付け）
世界最高速の白色干渉式表面形状測定装置組み込んだ全自動バンプ検査装置を発売しました。

2000年

00/12/6-8に幕張メッセで開催されたセミコンジャパンに、ウエーハ外観検査装置 "INSPECTRA 1000SX-III"と表面形状測定装置 "SP-500 "を出展しました。多数の方々のブース訪問、有り難うございました。
技術専門誌「日経メカニカル」 2000年10月号のＦｏｃｕｓページに表面形状測定装置 "SP-500 "が紹介される

JETRO発行の英文月刊誌「New Technology Japan」 2000年10月号に表面形状測定装置 "SP-500 "が新技術として紹介されました。

基板異物検査装置"IQ-530"と表面形状測定装置 "SP-500 "を学会発表
７月２６～２８日、九工大で開催された計測自動制御学会学術講演会(SICE 2000 in Iizuka)において、上記２つの製品について発表しました。
新製品表面形状測定装置 "SP-500 "がＮＨＫーＴＶで紹介される
産学共同の成果の例としてＮＨＫの取材を受け、７月２５日の「クローズアップ現代」（大学からベンチャーは生まれるか？）で紹介されました。（総合 19:35；BS1 21:30）
新製品表面形状測定装置 "SP-500 "を新聞発表 （日刊工業新聞 2000/7/5付け）
世界最高速の白色干渉式表面形状測定装置を発売しました。本装置に搭載されている新しい信号処理アルゴリズムは、当社と東京工業大学とが共同発明したものです。半導体ウエーハバンプ、磁気ヘッド、ＦＰＤ基板、プラスティク・フィルム、光学部品などの３次元形状測定に最適です。
00/7/5-7開催のファインテック展（東京ビッグサイト）に、ＦＰＤ関連検査機器を出展
異物検査装置、膜厚測定装置のほか、新製品である表面形状測定装置 "SP-500 "を展示しました。多数の方々のブース訪問、有り難うございました。
東レ検査機器事業を東レエンジニアリング（株）に移管　
本ホームページで紹介している検査機器は、2000年６月１日付けで、東レエンジニアリング（株）に事業移管されました。何卒、一層のご支援、ご鞭撻を賜りますようお願い申し上げます。

1999年

99/12/1-3開催のセミコンジャパンに、ウエーハ外観検査装置INSPECTRAの新機種"INSPECTRA 1000SX-III"を出展

99/6/30-7/2開催のファインテック展に、ＦＰＤ関連検査機器を出展
異物検査装置 IQ-530を国際学会で発表 (99/02/04)
ウエーハ外観検査装置INSPECTRAの新機種を発売 (99/02)

1998年

基板異物検査装置 IQ-530が、ＡＤＹ(Advanced Display of the Year)'98 グランプリを受賞 (98/07/01)


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