トピックス

　製品紹介

　技術紹介

• 「３波長ワンショット干渉計測を利用したインクジェット方式カラーフィルタの自動膜厚測定装置」,精密工学会春季大会学術講演会（2010.3.16-18；埼玉大学)
• 「共焦点反射方式によるガラス応力測定装置」，同上

• 「重み付き局所モデル適合法によるワンショット表面形状測定」,動的画像処理実利用化ワークショップ DIA2010（2010.3.4-5；ぴゅあ総合-男女共同参画推進センター；甲府)

• 「白色干渉法による高速表面形状測定の応用＝透明膜厚の膜形状計測＝」、光アライアンス、2010年3月号, 28- (2010) NEW

• ブースNo, 3A-504 (TORAY/TRC/TEK)
• ブースNo, A-8（模造品対策コーナー)　

　●出展社セミナー
　　�@12/2(水)15:30〜16:20　ルーム2
　　　表面形状およびガラス応力測定技術　〜バンプ・薄膜の微細形状測定とMEMS・CISのガラス応力測定の紹介〜

　　�A12/3(木)14:00〜14:20　特設パビリオン
　　　金属ナノインクによるチップ毎のIDマーキング

　　�B12/4(金)11:30〜12:20　ルーム1
　　　SiC、LED本格量産化に求められる検査技術〜パワー系、エコデバイス向け外観検査、3D測定技術のご紹介〜

　

• 「最終外観検査における裏面・エッジ・表面検査技術」、Electronic Journal 第221回 Technical Symposium (2009/10/21)

• Multi-Wavelength Single-Shot Interferometry, ISOT 2009 (International Symposium on Optomechatronic Technologies) (2009.9; Istanbul) 【Innovation Award Nominated 】

• 「位相勾配検出による干渉縞画像の２次元周波数推定」、計測自動制御学会産業論文集, vol. 8 (13), pp.108/112 (2009)
• 「３波長干渉計測のためのクロストーク補正」、計測自動制御学会産業論文集, vol. 8 (14), pp.113/116 (2009)

• PVJapan 2009に出展しました。
  6月24日(水) 〜26日(金)　幕張メッセ
  
  

• 「白色干渉による透明膜計測」：光応用技術シンポジウム Senspec2009　
  月日：6月10日（水）
  場所：パシフィコ横浜 アネックスホール
  

• ファインテック・ジャパンに出展しました。
  4月15日(水)〜4月17日(金)
  東京ビッグサイト（ブースNo.30-4）

• 「ワンショット表面形状測定における局所モデル適合法の誤差解析」,精密工学会春季大会学術講演会（2009.3.11-13；中央大学)
• 「位相勾配検出による干渉縞画像の２次元周波数推定」，同上

• 「位相シフト法による透明膜に覆われた物体の膜厚と表面形状の同時測定」.計測自動制御学会論文集, vol.45, no.2

• Invited talk: "Recent Trends in Super-Precision 3D Measurement Technology - Innovative Algorithms for Optical Interferometry and their Applications-", FCV 2009(15th Japan-Korea Joint Workshop on Frontiers of Computer Vision),Korea Student Advancement Center, Andong, Korea (Feb.5-7, 2009)

• 「２波長ワンショット干渉計測」、精密工学会誌, vol.75, No.2. 273-277 (2009)
• 解説論文「画像基礎アルゴリズムの新展開」、精密工学会誌, vol.75, No.2. 233-236 (2009)

■異物検査装置HS-730：原理と応用例

■表面形状測定装置SP：原理（技術資料No.1〜3）

　 光干渉法による透明膜の測定（技術資料No.4） NEW

　 表面形状測定装置SP：応用例

　 ３Ｄミュージアム（測定例）

■ガラス応力測定装置 KMS-5000 NEW

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