ＦＰＤパターン外観検査装置 新製品最終更新日：06/03/08
製品紹介
ＦＩ−５００
ＦＰＤパターン外観検査装置 新製品
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ＦＰＤ外観検査装置 ＦＩ−５００は、パターン付きFPDガラス基板の最終外観検査を全自動で高速、かつ安定的に行う自動検査装置です。 １０年以上の販売実績のあるウエーハ外観検査装置INSPECTRA 1000シリーズの技術を応用展開したものです。 当社独自の「良品学習アルゴリズム」（ＤＳＩ比較法）により、プロセスの変動要因を吸収し、疑似欠陥の発生を抑えた目視検査に近い感度での自動検査を実現します。 |
構成
| ＦＰＤ外観検査装置 FI-500 は、顕微鏡光学系、高解像度CCDカメラ、 XYステージ、専用高速画像処理装置、パソコンなどから構成されています。いずれも信頼性が高く、かつ、ランニングコストは最小であり、生産ラインで安心して、ご使用いただけます。 |
特徴
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主な仕様
| 対象サンプル | ＦＰＤ基板 |
| サイズ | 550×650 mm (他のサイズについても対応可能) |
| ガラス厚み | 0.4〜1.1mm |
| 検査アルゴリズム | 良品学習アルゴリズム（DSI Algorithm）ほか |
| 画素分解能 | 2.6/5.2/8.6 μm |
| レビューシステム | 標準搭載 |
| 検査カメラ | 2台(標準) |
| オプション | 自動基板搬送 |
本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
問い合わせ（営業窓口）：
〒520-2141 滋賀県大津市大江1丁目1番45号
東レエンジニアリング（株）
エレクトロニクス事業本部
ディスプレイシステム営業部 ＭＥＤ課
Tel:(077)544-1635 Fax:(077)544-6091