ガラス応力測定装置 KMS-5000

ガラス応力測定装置“KMS-5000”は、ガラス内部の残留応力を非接触で光学的に測定する装置です。

反射方式を採用し、「透過方式では測れない物が測れる」ことを特長にしています。

光弾性現象を利用し、得られる複屈折量から、応力値と方向を測定し、応力分布として表示します。

【応用】

・	MEMSやイメージセンサーなど
	ガラスをパッケージした後の工程（ウェーハレベルやチップ）でも、非破壊で製品のガラス残留応力を測定することができます。量産時の不良検出や、ガラス接合の条件出しなどに使用できます。
・	液晶パネルなど
	ガラスを貼り合わせた状態で、上面と下面の各ガラスの応力分布が測定できます。パネル切断時や、開発時のシール条件出しなどに使用できます。

光弾性現象を利用した非接触反射方式
ガラス内部の微小な残留応力測定　［0.1～10 MPa］
微小領域の応力測定　［スポット径：φ50μｍ］
複数点を自動測定し応力分布表示　（応力値と応力方向）
日本語表示画面で、操作が容易

モデル	KMS-5000
測定項目	ガラス内部応力値と応力方向
対象サンプル	ガラスなどの透明な等方性物質
サンプルサイズ	650×650×厚み10mm以内（ガラス厚み含む）
ガラス厚み	0.2～５ mm
測定原理	光弾性(反射方式）
測定レンジ	0.1～10 MPa
測定再現性	CV値 5 %以内
測定時間	１点あたり３秒以下
スポット径	φ50μｍ

問い合わせ（営業窓口）：
　　〒520-2141 滋賀県大津市大江1丁目1番45号
　　東レエンジニアリング（株）エレクトロニクス事業本部 DP営業部ＭＥＤ課
　　　Tel:(077)544-1635 　Fax:(077)544-6091
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