膜形状測定装置 SP-500F

ＳＰ－５００Ｆ
Non-Contact Film Profiler
【現在はSP-700に統合されています】

“ＳＰ－５００F”は、世界初の光干渉式膜形状測定装置で、透明膜の表面形状、裏面形状、膜厚分布の同時測定が可能です。

約１μｍ以上の厚さの透明膜で覆われた試料表面や、膜下パターンの３次元微細形状を非接触測定し、２次元・３次元表示するほか、各種粗さパラメータを計算します。

さらに、透明膜の膜厚分布を面内一括測定します。

半導体、フィルム、光学部品、ＬＣＤ基板、ＰＤＰ基板などの３次元形状測定に最適です。

本装置は、表面形状測定装置“ＳＰ－５００”のシリーズ商品であり、基本構成と機能は同一です。

光干渉法による非接触高精度３次元測定　
２次元カメラによる画面内一括高速測定
対物レンズ交換により視野サイズ可変
広い測定レンジ
日本語表示画面で、操作が容易
自動検査システムへの拡張可能
機器組み込み可能
１４０万画素カメラ対応（HRモデル）
通常の顕微鏡としても使用可能
透明膜の表面形状、裏面形状、膜厚分布の測定可能

モデル	ＳＰ－５００F （基本モデル）
測定原理	垂直走査型白色光干渉法
信号処理アルゴリズム	透明膜対応アルゴリズム（特許出願中）
適用対象	レジスト膜オーバーコート膜樹脂層間膜ガラス基板間接着層液晶セルギャップ液滴カラーフィルタ多層複合フィルム
測定・表示項目	①表面形状　②裏面形状　③膜厚分布
膜厚測定範囲	SiO2膜の場合において、０．６～５０μm　［オプション：～２００μｍ］【注】０．６μm以下の薄膜測定には、新製品ＳＰ－７００が対応します。
測定再現性	膜材質、膜形状、測定条件などに依存します。　σ＝５ｎｍ typ.
表示単位	１ｎｍ、または　０．０１ｎｍ（切り替え可能）
測定視野	対物レンズ、中間レンズの組み合わせで可変；０．０８ｍｍＸ０．０７ｍｍ～約７ｍｍ角　［広視野モデルでは、３０ｍｍφ］
水平分解能	可変；最高５１２４８０画素　（ＨＳモデルは最高１３７６１０４０画素）
測定時間	測定レンジ、測定項目、精度、水平分解能などに依存します。【例】測定レンジ：１５ μｍ、高精度モード、２５６*２４０画素／視野の場合、約１０秒
パソコン画面	日本語（オプション：英語）
パソコンＯＳ	Windows NT（日本語版）
標準装備	表面形状・裏面形状・膜厚分布の同時測定機能その他の機能は、表面形状測定装置SP-500に準じます。
オプション	表面形状測定装置SP-500に準じます。


膜厚傾斜ウエーハの表面形状（３Ｄ表示）	膜厚傾斜ウエーハの裏面形状（３Ｄ表示）

膜厚傾斜ウエーハの膜厚分布（３Ｄ表示）	膜厚傾斜ウエーハの膜厚分布（２Ｄ表示）