ＦＰＤ用表面形状測定装置

ＦＰＤ用表面形状測定装置
ＳＰ－５００Ｌ
FPD Panel Surface Profiler

　表面形状測定装置"ＳＰ－５００Ｌ"は、ＬＣＤやＰＤＰなどのフラットパネルディスプレイ基板の３次元微細形状を全自動検査するものです。

　表面形状測定の原理として、新たに開発した狭帯域白色光干渉法を採用し、高速・高精度の３次元形状検査を実現しました。

　アライメント、フォーカスなど、すべて自動的に行われ、検査結果は、マップ上に表示されるほか、パソコンに保存され、統計解析が可能です。

　ガラス基板上に形成されたカラムスペーサ（突起）、ＰＤＰ隔壁形状、ＴＦＴ基板表面段差の測定に最適です。

　透明膜対応ソフトの完成により、透明膜の表面形状、裏面形状、膜厚分布の一括同時測定が可能になりました。

垂直走査光干渉法による非接触高精度３次元測定　［高さ測定分解能１ｎｍ］
２次元カメラによる視野内一括高速測定　［数秒／視野全面］
対物レンズ交換により視野サイズ可変　［最大視野７×５ｍｍ］
広い測定レンジ　［高さ測定レンジ：最大３５０ｕｍ（ｵﾌﾟｼｮﾝ）］
大型ＬＣＤ基板対応
データの自動統計処理と保存
パターン認識装置内蔵
位相シフト法によるサブナノメートル精度（オプション；分解能0.01ｎｍ）
ロボット搬送（オプション）
透明膜対応（オプション）

測定原理	垂直走査光干渉法；位相シフト法（オプション）
対象基板	ＦＰＤ基板　基板サイズ　最大６５０×５００ｍｍ（これ以上も対応可能）　基板厚さ　　０．７ｍｍ，１．１ｍｍ
ロード・アンロード	手動　（オプション：ロボットによる自動搬送）
測定項目	視野内の基板表面全体を３次元形状計測します。さらに、つぎのようなデータを出力可能です。　①突起高さ　②突起サイズ（ｘ，ｙ径）　（オプション：体積）　③突起位置　④表面粗さパラメータ（Rq,Ra,Rtなど）　⑤表面段差　⑥膜厚分布
高さ測定再現性	表面形状、測定条件（倍率など）に依存します。
高さ測定範囲	０～１００ｕｍ　［オプション：３５０ｕｍ］
高さ測定分解能	１ｎｍ／０．０１ｎｍ
測定走査速度	可変；最高１００ um／sec
フォーカス	高速オートフォーカス機能内蔵
画素分解能	可変；最大５１２×４８０画素（高精細カメラ使用時は１４００×１０００画素）
測定視野	対物レンズ、中間レンズの組み合わせで可変です。　　最大視野：７mm×５mm
測定時間	測定レンジ、所要精度、計算内容に依存します。　　(例)・高さ測定レンジ：１０ um 　　　　・測定時間　　　：約０．５秒　　　　・計算時間　　　：約０．５秒
装置全般　　寸法（ｍｍ）　　クリーンルーム対応	１７００（幅）×１３５０（奥行）×１６６０（高さ）クラス１００以下
用役　　電源　　　　圧空　　　真空	ＡＣ１００Ｖ±１０％　６０±１Ｈｚ　１５ＫＶＡ０．５ＭＰａＧ１００ｈＰａ


カラムスペーサ	ＰＤＰ隔壁