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表面形状測定モジュール"ＳＰ－５００M"は、当社製品である表面形状測定装置SP-500を機器組み込み用にモジュール化したものです。 表面形状測定の原理として、狭帯域白色光干渉法を採用し、高速・高精度の３次元形状測定を実現しました。小型・軽量・ノーメンテナンスであり、容易に装置内に組み込めます。 透明膜対応ソフトの完成により、透明膜の表面形状、裏面形状、膜厚分布の一括同時測定が可能になりました。 |
最終更新日：08/05/25
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製品紹介
表面形状測定モジュール
SP-500M
Surface Profiling Module
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表面形状測定モジュール"ＳＰ－５００M"は、当社製品である表面形状測定装置SP-500を機器組み込み用にモジュール化したものです。 表面形状測定の原理として、狭帯域白色光干渉法を採用し、高速・高精度の３次元形状測定を実現しました。小型・軽量・ノーメンテナンスであり、容易に装置内に組み込めます。 透明膜対応ソフトの完成により、透明膜の表面形状、裏面形状、膜厚分布の一括同時測定が可能になりました。 |
特徴
| １． 白色光干渉法による非接触高精度３次元測定 ２． 新しい信号処理アルゴリズム搭載による高速垂直走査 ３． ２次元カメラによる画面内一括高速測定 ４． 広い測定レンジ ［高さ測定レンジ：最大３５０um（オプション）］ ５． ランニングコスト低廉 ６． 位相シフト法可能（オプション） ７． 透明膜対応（オプション） |
主な仕様
| 測定原理 | 狭帯域白色光干渉法など |
| 信号処理アルゴリズム | ＳＢ（波形復元）アルゴリズム（特許出願中）など |
| 測定項目 | 視野内の測定領域を３次元計測し、つぎのような項目を計算します。 ①段差 ②粗さ ③寸法 透明膜対応ソフトの利用により ④膜厚分布 |
| 高さ測定再現性 | 表面形状、測定条件（倍率など）に依存します。 |
| 高さ測定範囲 | ０～１００ｕｍ ［オプション：最大３５０ｕｍ］ |
| 高さ測定分解能 | １ｎｍ／０．０１ｎｍ |
| Ｚ軸走査速度 | 可変；最高 １００ um／sec |
| 対物レンズ | 可変 2.5X, 5X, 10X, 20X, 50X（仕様決定時に選択） |
| 画素分解能 | 可変；最大 ５１２×４８０画素 ［オプション：約１４００×１０００画素］ |
| 測定視野 | 対物レンズ、中間レンズの組み合わせで可変です。 最大視野：７mm×５mm［オプション］ |
| ＰＣ／ＯＳ | Windows NT；日本語版 |
| インターフェース | RS232C（標準） |
| 寸法・重量 | 光学モジュール ： 58mm(W) x 300mm(H) x 94mm(D)；約2kg |
| オプション | １． 高精細カメラ対応 ２． 中間レンズ（1×、0.5×） ３． 位相シフト法ソフトウエア ４． 自動チルト補正 ５． バンプ計測ソフトウエア ６． 磁気ヘッド計測ソフトウエア ７． ＬＣＤスペーサカラム測定ソフトウエア ８． 透明膜対応ソフトウエア |
注：基本性能は当社表面形状測定装置ＳＰ－５００、膜形状測定装置ＳＰ－５００Ｆ に同じです。
本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
本製品の技術と関連製品紹介ページ
| 表面形状測定装置 SP-500 |
| 基板検査装置SP-500P |
| バンプ検査装置SP-500B |
| 表面形状測定モジュール SP-500M |
| FPD用表面形状測定装置 SP-500L |
| 膜形状測定装置 SP-500F |
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