最終更新日：08/05/25

技術紹介：SP-500技術資料 No.3

垂直走査白色干渉法による表面形状測定

Technology of Vertical Scanning Interferometry

概要

  • 光源に可干渉距離の短い白色光を使用して、顕微鏡のＺ軸を垂直走査すると、測定光路と参照光路の距離が一致する場合に干渉縞の変調が最大となる。

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  • TVカメラ内各点における干渉縞変調量の最大となる光路差（Ｚ軸高さ）を求めることにより三次元形状が一括して測定できる。

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  • この最大ピーク位置を求める革新的な計算アルゴリズムを考案し、従来比１０倍以上の測定速度を可能にした。（2001年度 計測自動制御学会 学会賞を受賞）

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  • 高さレンジは自由に設定可能であり、段差を含む粗面の測定も可能である。

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  • 用途例：半導体バンプ、カラーフィルタ突起、金属加工面、ビアホール、ＭＥＭＳ

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    詳細な技術資料（論文）のpdfファイル(325KB)

    関連製品と技術紹介ページ　

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