最終更新日：08/05/25

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製品紹介

ウエーハエッジ検査装置 WE-1000

　

TORAY WE-1000

ウエーハエッジ検査装置 WE-1000 は、ウエーハエッジのクラック（ひび）、剥がれ（片面落ち）、チッピング（欠け）を自動的に検査します。

　

特徴

  1. 高速検査：　8インチウエーハあたり15秒 (搬送時間含む)
  2. 同時検査：　表面、裏面、エッジ部の検査が同時に行うことが可能
  3. 検査対象：　ベアウエーハだけではなく、パターン付ウエーハの検査にも対応
  4. 機　能　　：　OCR搭載によりウエーハIDの読みとり、ソーティング機能によるウエーハの詰め替え機能も装備

　


問い合わせ（営業窓口）：
　　〒520-2141 滋賀県大津市大江1丁目1番45号
　　東レエンジニアリング（株） エレクトロニクス事業本部 ディスプレイシステム営業部 ＭＥＤ課
　　　Tel:(077)544-1635 　Fax:(077)544-6091


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