最終更新日：10/06/17

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発表論文・記事のバックナンバー

目次

全般 半導体 磁気ヘッド ディスプレイ 　

表面形状測定(-2003)

 表面形状測定(2004-2007) 表面形状測定(2008-) NEW

ガラス応力測定装置

その他

A：全般

  1. 北川克一：特別講演 「半導体、磁気ヘッド、液晶プロセスにおける新しい計測検査技術の動向」、第３回画像センシングシンポジウム(SII'97)、335/340 (1997)

  2. 北川克一：「半導体、磁気ヘッド、液晶プロセスにおける新しい計測検査技術」、電子材料、6月号、101/106 (1997)

  3. 長山孝、北川克一：「デバイス・プロセスにおける最新検査・測定技術」、日経マイクロデバイス、３月号、82/88　(1998)

  4. "東レエンジニアリング　検査装置事業が好調　今期売上高 過去最高の見込み"、半導体産業新聞、2001/2/28版(2001)　

  5. 北川克一：特別講演 「半導体、液晶プロセスにおける検査技術の動向」、電子情報通信学会技術研究報告、PRMU2001-32、(2001-06)

  6. 北川克一：招待講演 「半導体産業分野での計測・検査技術の研究開発事例」、鉄鋼協会秋期講演大会シンポジウム(2001.9)

  7. 北川克一，輿水大和，石井明：解説論文「画像基礎アルゴリズムの新展開」、精密工学会誌, vol.75, No.2. 233-236 (2009)

B：半導体関連

Ｂ１：パターン検査装置 INSPECTRA

  1. 川口浩志、河添義光、北川克一、河村明徳：「ウェーハ欠陥検査装置のレジストコンタクトホールへの応用」、応物学会学術講演会 (1991)

  2. 川口浩志、河添義光、北川克一、河村明徳：「画像処理を用いたウェーハ欠陥検査装置とその応用」、第３回インテリジェントＦＡシンポジゥム予稿集、37/38 (1991)

  3. 脇坂泰行、川口浩志：「ウエーハパターン検査装置"インスペクトラ"」、電子材料、３月号、107/110 (1996)

  4. 川口浩志、山本比佐史、脇坂泰行、前田紀和、石沼隆：「全自動半導体外観検査装置"インスペクトラ1000X"」、クリーンテクノロジー、７月号、74/76 (1998)

  5. 小島範幸：「高まる最終外観検査の自動化ニーズ」、日経マイクロデバイス、３月号、128/132　(1999)

  6. 北川克一：「ウエーハ外観検査技術の最新動向」、日経マイクロデバイス、３月号、87/98　(2000)

  7. 川口浩志：「全自動ウエーハ外観検査装置"インスペクトラ1000SX-III"」、日経マイクロデバイス、8月号、130 (2001)

  8. 川口浩志：「東レエンジニアリングの全自動ウエーハ外観検査装置」、エレクトロニクス・ジャーナル、2001年12月号,120/121 (2001)

  9. "東レエンジニアリング、半導体ウエハー外観検査装置を開発"、日刊工業新聞、日本工業新聞など、2003/2/11-14 (2003)　

  10. 川口浩志：「ウエーハ最終外観検査の高速化と最新動向」、ピューリフィケーション研究会 第９回ＳＯＰＴシンポジウムテキスト, 1/24 (2005,福岡)

  11. "東レエンジニアリング、外観検査の自動化を推進"、 Semiconductor FPD World、 2008年8月号、66/67(2008)

  12. "東レエンジ、大手イメージセンサメーカーからINSPECTRAを受注"、エレクトロニクス・ジャーナル・ニュース 2008年10月29日 (2008)

Ｂ２：バンプ検査装置 MV/SP

  1. 北川克一、吉村郁夫：「画像処理とオートフォーカスによるウェーハバンプ自動検査システム」、計測自動制御学会学術講演会予稿集、373ｰ374 （1991）

  2. 北川克一：「ファイン接合の３次元評価装置」、第１回ＳＨＭワークショップ (1991)

  3. 北川克一、吉村郁夫：「バンプの自動検査システム」、第４回マイクロエレクトロニクスシンポジウム (1991)

  4. "東レエンジニアリング　全自動高速バンプ検査装置を開発"、半導体産業新聞、2001/2/21版 (2001)　

  5. 北川克一：「表面形状測定装置 SP-500とバンプ検査への応用」、エレクトロニクス実装技術、2002年9月号,42/45 (2002)

  6. 大槻真左文：「<東レエンジニアリングのバンプ検査装置>従来比10倍以上の高速測定を実現 膜厚分布、表面／底面形状も一括測定」、エレクトロニクス・ジャーナル、2003年6月号, 142/143 (2003)

  7. 大槻真左文：「光干渉法による高精度高速バンプ検査装置−表面形状測定装置SP-500とその応用商品化技術−」、エレクトロニクス実装技術、2003年9月号, 32/35 (2003)

  8. 鈴木一嘉、北川克一、大槻真左文： 「白色干渉計測原理を用いたウエハ用自動バンプ検査装置による高精度バンププロセスの管理」、光計測シンポジウム2006論文集、69/72 (2006.6) 　

Ｂ３：ウエーハエッジ検査装置 ＷＥ

  1. 山本比佐史：「東レエンジニアリングのウエーハエッジ・裏面検査装置　200枚/hの高スループットを実現　表面・裏面・エッジ部を一度に検査」、エレクトロニック・ジャーナル、no.119、100/101 (2004.2)

  2. 山本比佐史：「最終外観検査における裏面・エッジ・表面検査技術」、Electronic Journal 第221回 Technical Symposium、 (2009.10)

C：磁気ヘッド関連 MV

  1. 高橋治、松本晋、小林強志、吉田信之、北川克一：「画像処理による磁気ヘッド平坦度全自動検査システム」、第33回計測自動制御学会学術講演会予稿集、421/422 (1994)

D：ディスプレイ関連

Ｄ０：共通

  1. 川口浩志、松村淳一：「パターン検査装置／膜厚検査装置」、電子材料、６月号別冊、122/125 (1996)

  2. 林睦：「液晶用検査装置の最新技術動向」、日経マイクロデバイス、６月号、110/114　(1998)

  3. 林睦：「液晶製造プロセスにおける計測検査技術の最新技術動向」、日経マイクロデバイス、７月号、139/150　(1998)

  4. 北川克一：「フラットパネル工程における新しい光計測技術」、電気学会全国大会シンポジウム、1293/1296　(2000.3)

  5. 董剛、松村淳一：「東レエンジニアリングのFPD用検査装置」、エレクトロニクス・ジャーナル、2003年3月号, 138/139 (2003)

Ｄ１：膜厚測定装置 OP

  1. 岩佐規人：「フラットパネルディスプレイ用膜厚測定装置」、電子材料、６月号別冊、123/126 (1998)

  2. 小林強志：「汎用小型膜厚測定装置"ＯＰ−５０Ｓ"」、月刊ディスプレイ１２月号、5/9 (1998)

  3. 「汎用小型膜厚測定装置"ＯＰ−５０Ｓ"」、菱光技報、12月号 (1998)

Ｄ２：基板異物検査装置 IQ/HS

  1. 西田昌弘、林睦：「液晶基板検査装置IQ-500」、月刊ディスプレイ、12月号、40/42（1995）

  2. 林睦：「フラットパネルディスプレイ用異物検査装置IQ-530」、月刊ディスプレイ、12月号、24/31（1997）

  3. 北川克一：「新しい原理によるガラス基板検査装置」、ファインテック専門技術セミナー (1998)

  4. "第３回アドバンスト・ディスプレイ・オブ・ザ・イヤー'98受賞社に聞く"、半導体産業新聞、1998.9.30版

  5. Mutsumi Hayashi, Katsuichi Kitagawa:"New Particle Counter Using Spatial Filtering Technique", Display Manufacturing Technology Conference, at San Jose, 105/108 (1999)

  6. 北川克一、林睦：「空間フィルタ方式による基板異物検査装置の開発」、第39回計測自動制御学会学術講演会予稿集、201A-2 (2000)

  7. 林睦：「フラットパネルディスプレイのガラス基板検査」、非破壊検査、 50 (5) 284/289(2001)

  8. "高感度・高速のガラス基板異物検査装置を開発"、半導体産業新聞、2001.7.18版

  9. 「次世代異物検査装置ＨＳシリーズ」、日経マイクロデバイス、8月号、185 (2001)

  10. 林睦：「次世代異物検査装置"ＨＳ-730"の開発」、月刊ディスプレイ、12月号、28/36（2001）

  11. Mutsumi Hayashi:"Next-Generation Particle Inspection System HS-730 for FPD Glass Plates", Society for Information Display SID 2002 Conference, at Boston (2002)

  12. 林睦：「ガラス基板用異物検査装置」、Ｏ plus Ｅ、11月号、1214/1220（2002）

Ｄ３：基板外観検査装置 FI

  1. "東レエンジニアリング、ＦＰＤ基板外観検査装置を開発"、日刊工業新聞、2003/2/17 (2003)

E：表面形状測定装置 SP

  1. 平林晃、小川英光、水谷竜也、永井健、北川克一：「帯域通過型標本化定理を用いた白色光干渉による表面凹凸形状の高速測定」、計測自動制御学会論文集、36(1)、16-25 (2000) 【計測自動制御学会 2001年学会賞（技術賞）受賞論文】 [全文PDFがJournal@rchiveにあります] NEW

  2. 北川克一、平林晃、小川英光、水谷竜也：「狭帯域白色光干渉による高速表面形状測定装置の開発」、第39回計測自動制御学会学術講演会予稿集、103D-4 (2000.7.26)

  3. "白色干渉式表面形状測定装置 東レエンジが開発"、日刊工業新聞、2000.7.5版

  4. "World's Fastest Non-Contact Surface Profiler", New Technology Japan, Vol.28 No.7(Oct.), JETRO(2000)

  5. 「白色光干渉で３次元微細形状を非接触・高速測定」、日経メカニカル、2000.11月号、68 (2000)

  6. 北川克一：「狭帯域白色光干渉を利用した３次元微細表面形状測定装置」、レーザ協会誌、25(4) 11-16 (2001)　

  7. 北川克一：「高速非接触表面形状測定装置 SP-500」、光アライアンス、2001年4月号, 4-6 (2001)

  8. 「世界最高速の光干渉式表面形状測定装置 」、日経マイクロデバイス、2001年3月号 ,86 (2001)

  9. 北川克一：「東レエンジニアリングの光干渉式表面形状測定装置」、エレクトロニクス・ジャーナル、2001年3月号, 82-83 (2001)

  10. 北川克一、小川英光、平林晃：「狭帯域白色光干渉による高速表面形状測定装置の開発」、第45回システム制御情報学会研究発表講演論文集, 131-132 (2001.5)

  11. H.Ogawa,A.Hirabayashi,K.Kitagawa:"Sampling Theorem for Surface Profiling by White-Light Interferometry", Proceeding of SampTA 2001,91-96(2001.5)

  12. 北川克一、小川英光、平林晃：「狭帯域白色光干渉を利用した３次元微細表面形状測定装置」、光計測シンポジウム２００１論文集, 1-4 (2001.6.6)

  13. A.Hirabayashi, H.Ogawa, K.Kitagawa:"Fast Surface Profiler by White-Light Interferometry Using a New Algorithm, the SEST Algorithm", Proc. of SPIE Annual Meeting 2001, vol.4451,356/367(2001.8)

  14. 北川克一、小川英光、平林晃：「信号処理に帯域通過型標本化定理を応用した光干渉式高速表面形状測定装置」、第18回センシングフォーラム論文集, 133-137(2001.10)

  15. 「高速表面形状測定装置」、東工大テクノロジー、Vol.4 (2001)

  16. 小川英光：「光干渉式表面形状測定装置の開発」、インターラボ、2001年12月号、46 (2001)　

  17. 北川克一、小川英光、平林晃：「信号処理に一般標本化定理を応用した光干渉式高速表面形状測定装置」、第13回外観検査の自動化ワークショップ論文集、141-146 (2001.12.7)

  18. 北川克一、小川英光、平林晃：「信号処理に一般標本化定理を応用した光干渉式高速表面形状測定装置」、映像情報インダストリアル、2002年4月号(2002)

  19. 北川克一：「表面形状測定装置 SP-500とその応用」、光アライアンス、2002年7月号,14-19 (2002)

  20. A.Hirabayashi, H.Ogawa, K.Kitagawa:"Fast surface profiler by white-light interferometry by use of a new algorithm based on sampling theory", Appiled Optics, vol.41, no.23, 4876-4883 (2002.8)

  21. 北川克一：「表面形状測定装置 SP-500とバンプ検査への応用」、エレクトロニクス実装技術、2002年9月号,42-45 (2002)

  22. 北川克一：「光干渉法を利用した表面形状と膜厚分布の同時測定」、ディジタル・イメージング実利用化研究会、2003/2/26 (2003)

  23. 大槻真左文：「<東レエンジニアリングのバンプ検査装置>従来比10倍以上の高速測定を実現 膜厚分布、表面／底面形状も一括測定」、エレクトロニクス・ジャーナル、2003年6月号, 142-143 (2003)

  24. 北川克一：「光干渉方式表面形状測定装置 東レSP-500における異常データ対策」、精密工学会 表面トポグラフィ解析用ソフトウェアの標準化専門委員会 第2回研究会議 (2003.7.24)

  25. 大槻真左文：「光干渉法による高精度高速バンプ検査装置−表面形状測定装置SP-500とその応用商品化技術−」、エレクトロニクス実装技術、2003年9月号, 32-35 (2003)

  26. 北川克一：「白色光干渉法による透明膜の形状・膜厚同時測定」、第20回センシングフォーラム資料,169-172 (2003.9.16)

  27. 北川克一：「光干渉法による表面形状測定装置 SP-500とその透明膜計測への応用」、光応用技術シンポジウム(Senspec 2003)資料, 3-12 (2003.12.3)

  28. 北川克一：「白色光干渉法による透明膜の三次元膜形状計測」、ViEW2003 ビジョン技術の実利用ワークショップ講演論文集, 87-92 (2003.12.4-5) 【優秀論文賞（小田原賞）受賞論文】

  29. 北川克一：「白色光干渉法による透明膜の三次元膜形状計測」、センシング技術応用研究会資料 (2004/2/20)

  30. A.Hirabayashi, Y.Nakayama, H.Ogawa, K.Kitagawa:"Algorithm with Optimum Noise Suppression for Surface Profiling by White-Light Interferometry", Proc. of SPIE Annual Meeting 2003, vol.5180, 365-376 (2003.8)

  31. 北川克一：「白色干渉による微細３Ｄ計測とその応用」、精密工学会春季大会シンポジウム資料, 90-95 (2004.3.18)

  32. 北川克一：「白色光干渉法による透明膜の三次元膜形状計測」、映像情報インダストリアル、2004年4月号　73/80 (2004)

  33. 北川克一：「光干渉法による表面形状計測の最近の動向」、学術振興会 産業計測第36委員会 第362回研究会資料 (2004.5.28)

  34. 北川克一：「光干渉法による表面形状測定装置 SP-500とその応用」、にいがたナノテク研究会 計測分科会資料 (2004.6.2)

  35. 北川克一：「光干渉法による表面形状測定装置「SP-500」と透明膜計測への応用」、コンバーテック、2004.7号、83-87(2004)

  36. Katsuichi Kitagawa: 3-D Profiler of a Transparent Film using White-Light Interferometry, Proc. of SICE Annual Conference 2004 in Sapporo (計測自動制御学会学術講演会予稿集)、TAI-7-2, 585-590(2004.8.4-6)

  37. 鈴木一嘉：「光干渉計測によるバンプ、配線形状の検査 - 表面形状測定装置SP-500とその応用商品化技術 - 」、エレクトロニクス実装技術、2004.9月号、34-39 (2004)

  38. 清水崇聡，栗原徹，小野順貴，北川克一，安藤繁：「時間相関イメージセンサを用いる実時間OCT」、第65回応用物理学会学術講演会、(2004.9.1-4)

  39. 小川英光，中野渡祥裕，北川克一，杉山将：「位相シフト法による透明膜に覆われた物体の３次元形状測定」、2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集、1125/1126 (2004.9)

  40. 「高速表面形状測定装置」、東工大 産学連携推進本部発行パンフレット (2004)

  41. 清水崇聡，栗原徹，小野順貴，安藤繁，北川克一：「時間相関イメージセンサを用いる実時間OCT」、電気学会センサ・マイクロマシン準部門主催 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、(2004.10.14-15)

  42. 北川克一：「東レエンジニアリング（株）の膜形状測定装置 SP-500F」、光アライアンス、2004年11月号, 8-11 (2004)

  43. 北川克一：「白色干渉法による高速表面形状測定装置」、光技術コンタクト、2004.11月号、583-591(2004)

  44. 北川克一：「位相シフト法による透明膜に覆われた表面の３次元形状測定装置開発」、2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集、377-378 (2005.3)

  45. 北川克一、鈴木一嘉、大槻真左文：「膜形状測定装置 SP-500Fを用いた透明膜形状測定」、光計測シンポジウム２００５論文集, 91-94 (2005.6.8)

  46. 北川克一：「光干渉法による膜形状測定装置“SP-500F”とその応用」、電子材料、2005年7月号, 77-80 (2005)

  47. 北川克一：「東レエンジニアリングの膜形状測定装置 SP-500F」、光アライアンス、2005年11月号, 42-46 (2005)

  48. 北川克一：「表面形状と膜厚分布計測の最近の話題」、2006年度精密工学会春季大会シンポジウム資料、15-16 (2006.3.15)

  49. 北川克一：「標本化定理の産業応用−光干渉計測における新しい信号処理アルゴリズム−」、電子情報通信学会 総合大会 基礎・境界ソサイエティ パネル討論 「AP-6. 信号・画像の離散化、特に量子化法についての討論−OK量子化理論とその展望−」(2006.3.24)

  50. 鈴木一嘉、北川克一、大槻真左文： 「白色干渉計測原理を用いたウエハ用自動バンプ検査装置による高精度バンププロセスの管理」、光計測シンポジウム2006論文集、69-72 (2006.6)

  51. 北川克一：「光干渉計測と膜形状測定への応用 」、光応用技術シンポジウム　Senspec2006 (2006.6)

  52. K. Kitagawa: [Invited] Recent trends in white light interferometry, Optics East 2006 (2006.10) ;Two- and Three-Dimensional Methods for Inspection and Metrology IV. Edited by Huang, Peisen S.. Proceedings of the SPIE, Volume 6382, pp. (2006).

  53. K. Kitagawa: [Invited] Simultaneous Measurement of Film Surface Topography and Thickness Variation using White-Light Interferometry, Optics East 2006 (2006.10) ;Proceedings of SPIE -- Volume 6375, Optomechatronic Sensors, Instrumentation, and Computer-Vision Systems, Yasuhiro Takaya, Jonathan Kofman, Editors, 637507 (Oct. 12, 2006)

  54. K. Kitagawa: [Invited] Recent Advances in White-Light Interferometry - Speed Improvement and Transparent Film Profiling -, OSA OF&T 2006 (2006.10)

  55. M. Sugiyama, H. Ogawa, K. Kitagawa, and K. Suzuki, "Single-shot surface profiling by local model fitting," Appl. Opt. 45, 7999-8005 (2006)

  56. 北川克一：基調講演「超精密３次元形状計測の最新動向 −白色干渉における革新的アルゴリズムの開発とその応用−」、ViEW2006 ビジョン技術の実利用ワークショップ講演論文集, 1-7 (2006.12.7-8)

  57. 北川克一：特別講演「超精密３次元形状計測の最新動向」、知能メカトロニクス専門委員会研究会報告、11(2) 1-7 （2007.1.17; 香川大学）

  58. 北川克一：研究報告 「光干渉による透明膜の３次元形状測定」、画像応用技術専門委員会研究会報告、21(4) 20-25 （2007.1.26; 東京電機大学）

  59. 北川克一：ViEW2006基調講演収録「超精密３次元形状計測の最新動向 −白色干渉における革新的アルゴリズムの開発とその応用−」、映像情報インダストリアル、2007年2月号　45-52 (2007)

  60. 小川英光，下山賢一，福永正和，北川克一，杉山将：「白色光干渉法による透明膜に覆われた物体の 膜厚と表面形状の同時測定」、計測自動制御学会論文集、43(2)、71-77 (2007)

  61. 北川克一：「透過干渉法による透明フィルムの膜厚分布測定 」、DIA2007動的画像処理実利用化ワークショップ講演論文集、pp.137-140 (2007.3; 北海道大学)

  62. 杉山将，松坂拓哉，小川英光，北川克一，鈴木一嘉：「急峻な段差を持つ表面のワンショット形状計測法」、精密工学会 2007年度春季大会学術講演会講演論文集, 585-586（2007.3; 芝浦工業大学）

  63. 北川克一：「光干渉法による微小段差計測の現状と展望」、計測標準と計量管理、Vol.57, No.1, .28-32（2007.5)

  64. 北川克一：「透過干渉法による透明膜の膜厚分布測定」、光計測シンポジウム２００７論文集, 77/80 (2007.6.6;パシフィコ横浜)

  65. 北川克一：キーノートスピーチ 「干渉計測における技術開発と課題」、精密工学会 2007年度秋季大会学術講演会講演論文集、451-452 （2007.9; 旭川）

  66. 北川克一：「白色干渉法による透明膜の膜厚と屈折率の同時計測」、精密工学会 2007年度秋季大会学術講演会講演論文集、461-462 （2007.9; 旭川）

  67. K. Kitagawa, M. Sugiyama, T. Matsuzaka, H. Ogawa, and K. Suzuki, "Two-Wavelength Single-Shot Interferometry", Proc. of SICE Annual Conference 2007 in Takamatsu (計測自動制御学会学術講演会予稿集)、724-728 (2007)

  68. Katsuichi KITAGAWA: [Invited] Thin Film Thickness Profile Measurement using an Interferometric Surface Profiler, ISOT 2007 (International Symposium on Optomechatronic Technologies) (2007.10); Optomechatronic Sensors and Instrumentation III, edited by Rainer Tutsch, Hong Zhao,Katsuo Kurabayashi, Yasuhiro Takaya, Pavel Tomanek, Proc. of SPIE Vol. 6716, 671607, (2007)

  69. 北川克一：「高精度表面計測」、群馬大学科学技術振興会主催セミナー 光計測・講演と見学会資料集 (2007.11.16;群馬大学)

  70. 北川克一，杉山将，松坂拓哉，小川英光，鈴木一嘉：「２波長ワンショット干渉計測」、ViEW2007 ビジョン技術の実利用ワークショップ講演論文集, 189-195 (2007.12.5-7) 【優秀論文賞（小田原賞）第２位受賞論文】

  71. 北川克一：話題提供 「３次元データへの平面、２次曲面フィッティングとその応用例」、画像応用技術専門委員会研究会報告、22(4) 25-26 （2008.1.18; 東京電機大学）

  72. 鈴木一嘉:「光干渉式表面形状測定装置ＳＰによる微細バンプ高さの高精度管理」、電子材料、2008年1月号、95-99 (2008)

  73. 北川克一,小川英光,鈴木一嘉,杉山将,松坂拓哉：優れた画像処理研究に触れる-ViEW2007より「２波長ワンショット干渉計測」、映像情報インダストリアル、2008年2月号、　51-58 (2008)

  74. 北川克一：「光干渉式表面性状測定機の今後」、精密工学会春季大会シンポジウム資料集, 18-20 (2008.3)

  75. 北川克一：「透過干渉法による透明膜の膜厚分布測定」、光アライアンス、2008年4月号, 58-61 (2008)

  76. 鈴木一嘉、小川英光、北川克ー、杉山将：「２波長ワンショット干渉法による表面形状測定」、光計測シンポジウム２００８論文集, (2008.6.6;パシフィコ横浜)

  77. 北川克一：「光干渉法による透明膜の三次元形状測定」、光アライアンス、2008年7月号, 7-13 (2008)

  78. 北川克一：「3波長ワンショット形状計測法」、精密工学会2008年秋季大会学術講演会講演論文集、179-180 （2008.9；東北大学）

  79. 内藤卓人，杉山将，小川英光，北川克一，鈴木一嘉：「透明膜で覆われた物体のワンショット干渉計測法-局所モデル適合法による膜厚と表面形状の同時測定-」、精密工学会2008年季大会学術講演会講演論文集、183-184 （2008.9；東北大学）

  80. 北川克一,小川英光,鈴木一嘉,杉山将,松坂拓哉：「２波長ワンショット干渉計測」、画像ラボ、2008年10月号、37-43 (2008) pdfファイル(6.9MB)

  81. 北川克一：「3波長ワンショット干渉計測」、ViEW2008 ビジョン技術の実利用ワークショップ講演論文集, 5-10 (2008.12.4-5;パシフィコ横浜)

  82. 北川克一, 杉山将, 松坂拓哉,小川英光, 鈴木一嘉:「２波長ワンショット干渉計測」、精密工学会誌, vol.75, No.2. 273-277 (2009)

  83. K. Kitagawa: [Invited talk] Recent Trends in Super-Precision 3D Measurement Technology - Innovative Algorithms for Optical Interferometry and their Applications-, FCV 2009　(15th Japan-Korea Joint Workshop on Frontiers of Computer Vision),　Korea Student Advancement Center, Andong, Korea (Feb.5-7, 2009)

  84. 小川 英光, 中野渡 祥裕, 北川 克一, 杉山 将, 内藤 卓人：「位相シフト法による透明膜に覆われた物体の膜厚と表面形状の同時測定」、計測自動制御学会論文集, vol.45, no.2, 73-82( 2009)

  85. 横田達也，杉山将,小川英光，北川克一，鈴木一嘉：「ワンショット表面形状測定における局所モデル適合法の誤差解析」、2009年度精密工学会春季大会学術講演会論文集，167-168(2009)

  86. 北川 克一：「位相勾配検出による干渉縞画像の２次元周波数推定」，2009年度精密工学会春季大会学術講演会論文集，169-170(2009)

  87. 北川克ー：「白色干渉による透明膜計測」、光計測シンポジウム(SENSPEC) 2009論文集, (2009.6.10;パシフィコ横浜)

  88. Tatsuya Yokota, Masashi Sugiyama, Hidemitsu Ogawa, Katsuichi Kitagawa, and Kazuyoshi Suzuki, "Interpolated local model fitting method for accurate and fast single-shot surface profiling," Appl. Opt. 48, 3497-3508 (2009)

  89. 北川克一：「位相勾配検出による干渉縞画像の２次元周波数推定」、計測自動制御学会産業論文集, vol. 8 (13), pp.108/112 (2009)

  90. 北川克一：「３波長干渉計測のためのクロストーク補正」、計測自動制御学会産業論文集, vol. 8 (14), pp.113/116 (2009)

  91. Katsuichi KITAGAWA: Multi-Wavelength Single-Shot Interferometry, ISOT 2009 (International Symposium on Optomechatronic Technologies) (2009.9; Istanbul) [Innovation Award Nominated]

  92. 内藤卓人, 杉山将, 小川英光, 北川克一, 鈴木一嘉: 「透明膜で覆われた物体のワンショット干渉計測法」、精密工学会誌, vol.75, No.11. 1315-1322 (2009)

  93. 大槻真左文：「東レエンジニアリングの膜形状測定装置」、光アライアンス、2009年12月号, 21-26 (2009)

  94. 大槻真左文：「白色干渉法による高速表面形状測定の応用＝透明膜厚の膜形状計測＝」、光アライアンス、2010年3月号, 28- (2010)

  95. 栗原 望, 杉山 将, 小川 英光, 北川 克一, 鈴木 一嘉：「重み付き局所モデル適合法によるワンショット表面形状測定」、動的画像処理実利用化ワークショップ2010(DIA2010)講演論文集, pp.249-254.(2010.3.4-5, 甲府市・ぴゅあ総合)

  96. 北川克一、坪井辰彦、鈴木一嘉、大槻真左文：「３波長ワンショット干渉計測を利用したインクジェット方式カラーフィルタの自動膜厚測定装置」，2010年度精密工学会春季大会学術講演会論文集，881-882 (2010)

  97. 北川克一,杉原洋樹,坪井辰彦,鈴木一嘉,大槻真左文：「インクジェット方式カラーフィルタの自動膜厚測定装置-３波長ワンショット干渉計測法の応用-」、光計測シンポジウム2010論文集, 17-20, (2010.6.9;パシフィコ横浜) NEW
  98. Katsuichi Kitagawa: "Fast Surface Profiling by Multi-Wavelength Single-Shot Interferometry", International Journal of Optomechatronics, 4(2) 136-156 (2010) NEW

Ｆ：ガラス応力測定装置

  1. "東レエンジ、ガラス応力測定装置を発表"、エレクトロニクス・ジャーナル・ニュース 2008年10月29日 (2008)

  2. Shigeki Kudo, Takashi Mitsui, Hideaki Sakai, Hiroyuki Murata and Masahiro Kanazawa: Measurement of low retardation using reflective optical system based on the photoelastic principle, Optical Review, Volume 16, Issue 2, 66-73 (2009)

  3. 工藤重樹、三井隆久、大槻真左文、村田浩之、金澤昌廣、佐藤良三：「共焦点反射方式による「ガラス応力測定装置」」，2010年度精密工学会春季大会学術講演会論文集，843-844(2010)

G：その他

  1. 北川克一：パネルディスカッション「目視検査の機能分類と自動化の問題点」、第６回外観検査の自動化ワークショップ、122-123 （1994）

  2. 北川克一：パネルディスカッション「工程中の感覚的な検査をどうするか」、第８回外観検査の自動化ワークショップ、122-123　（1996）

  3. 北川克一：「検査自動化を阻む諸問題とブレークスルー」、ディジタルイメージング技術実利用化研究会 (1998.9.28)

  4. 北川克一：「ＦＡにおけるディジタル画像処理」、理研シンポジウム「ディジタル生産システム研究」、58-67 （1999.2.9）

  5. 北川克一：「Display Manufacturing Technology Conference報告」、電子情報通信学会技術研究報告EID98-191〜196、23-27 （1999）

  6. 北川克一：パネルディスカッション「ビジョンビジネス１７年を振り返って」、ViEW2004 ビジョン技術の実利用ワークショップ （2004.12.3）

  7. 上記パネルディスカッション収録、「ビジョンビジネスへのチャレンジ」、映像情報インダストリアル、2005年2月号　68-85 (2005)

  8. 北川克一（分担執筆）：「光技術総合事典」、オプトロニクス社 (2004)

  9. 北川克一（分担執筆）：5.2節 顕微鏡による三次元計測-光干渉法-、「最新 光三次元計測」（吉澤徹 編著） p.66-73、朝倉書店 (2006.11)

  10. 北川克一（分担執筆）：第7章 干渉編、「光学実務資料集」 p.119-132、情報機構 (2006.11)

  11. 大美、山本、大久保、新海、大堀、小寺、岡：「ランダムパターン上の顕著な欠陥の検出」（アルゴリズムコンテスト応募作品）、ViEW2006 ビジョン技術の実利用ワークショップ講演論文集, 374 (2006.12.7-8)

  12. 北川克一：パネル討論「膨張するビジョンターゲット−工場から町へ−」、ViEW2006 ビジョン技術の実利用ワークショップ講演論文集, 358 (2006.12.7-8)

  13. 上記パネルディスカッション収録、「膨張するビジョンターゲット−工場から町へ−」、映像情報インダストリアル、2007年2月号　74-83 (2007)

  14. 北川克一（分担執筆）：5.4節 光干渉法による表面形状計測の現状と展望、「フィルム・ガラスの表面処理技術とその評価・分析」、情報機構 (2007.9)

  15. 北川克一：特別招待講演「画像処理25年を振り返って−回顧と展望−」、2007国際画像セミナー （2007.12.6;パシフィコ横浜）

  16. 北川克一（分担執筆）：12.4節 イメージング技術、　「次世代センサハンドブック」 p.510-522、培風館 (2008.7)

  17. Katsuichi Kitagawa（分担執筆）: Chapter 29 Film surface and thickness profilometry, in "Handbook of Optical Metrology -Principles and Applications-",Edited by Toru Yoshizawa, CRC Press (2009)

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