【半導体産業新聞】掲載日：平成１３年２月２８日

　検査装置事業は８９年から東レの一事業としてスタートし、シナジー効果を考慮して昨年６月に半導体や液晶製造装置を手掛ける東レエンジニアリングに事業移管された。半導体、液晶、薄膜磁気ヘッドの三分野を中心に、画像処理系「ＭＶ」「Ｉ」、光学応用系「ＯＰ」「ＩＱ」、光干渉を利用した「ＳＰ」の各シリーズをラインアップしている。

　今期、国内では、良品学習アルゴリズムを搭載した「インスペクトラ（Ｉシリーズ）」が好調。パターン付き半導体ウエハーや薄膜磁気ヘッド向けに加え、ＩＣカードや自動車部品、光通信デバイスなどの検査にシェアを伸ばした。今後は、０．１１ｓｅｃ／１画面、８０秒／８インチウエハーの検査時間をさらに短縮する考えで、高速化に向けたソフトウエアの開発に力を入れていく。

　一方、海外では、韓国や台湾向けに液晶ガラス基板異物検査装置「ＩＱシリーズ」の出荷が増えた。レビユー機能を搭載してパーティクルの種類、大きさなどが確認できるのが特徴で、業界トップシェアを獲得している。基板の大型化、高精細化により、検出するパーティクルサイズは０．５μｍ以下が求められており、同社では０．４５μｍの検出を実現。　今後も、１０００ｍｍ以上の大型基板対応、検出精度アップを図る。

以上