【日刊工業新聞】掲載日：平成１２年７月５日 |
||||||||||||
| 白色干渉式表面形状測定装置 | ||||||||||||
| 東レエンジが開発 | ||||||||||||
| 世界最高速の走査実現 | ||||||||||||
| 東工大と共同 ＦＡ実用レベルに | ||||||||||||
| 東レエンジニアリング（大阪北区中之島３の４の１８、下村彬一社長、０６-６４４７-５２０５）は、東京工業大学大学院情報処理工学研究科小川英光研究室と共同で、従来に比べ７−１５倍の高速走査を実現した世界最高速の白色干渉式表面 形状測定装置「ＳＰ−５００」を開発した。二つの反射光を干渉させる干渉顕微鏡を用いて被測定物に生じる干渉縞（しま）波形を分析し、表面 の微細な凹凸形状を非接触測定する。データ数が少なくても波形を復元できる新アルゴリズムによって測定時間を研究レベルからＦＡ（工場自動化）レベルに早めた。半導体などの実装段階の検査自動化用に売り込む。 | ||||||||||||
実装検査用に売り込み |
||||||||||||
| 白色干渉式表面形状測定装置は干渉顕微鏡を垂直に走査し、干渉縞の明暗が最大になるピーク点を求め、被測定物の３次元的な表面
形状を測定する。狭い領域の光だけを通す干渉フィルターを用いた帯域制限によって、少ないデータで正確な測定を可能にした。通
信短縮理論の帯域通過型標本化定理を初めて画像データ解析に応用した。 １秒間に５０マイクロメートル走査を可能にしたうえ、１０ナノ（１０億分の１）メートルレベルの分解能を持ち、高さ１００マイクロメートル（オプション３５０マイクロメートル）まで測定できる。本体価格は１０００万円。初年度１０−２０台の販売と、同装置を中核に搬送ロボットなどと組み合わせた自動化ラインとして５億円以上の売り上げを目指す。 白色干渉式測定装置は現在、米国２社が発売。同社が３社目となり、５日から東京ビッグサイトで開く「ファインプロセステクノロジージャパン２０００」に出品する。 ＩＣ実装時のバンプ、ＰＤＰ（プラズマディスプレーパネル）の仕切り、液晶のガラス板への封入など、高精度が要求される製造工程の検査は、自動化ラインからはずされ、バッチ処理か人の目視による検査に頼っているのが現状という。 |
||||||||||||
|
||||||||||||
（記事原文のまま） |
||||||||||||
| ＜掲載写真＞１０ナノメートルレベルの分解能を持つ白色干渉式表面
形状測定装置（本転載記事では省略）
|
||||||||||||
＜本件詳細の問い合わせ先＞ |
||||||||||||
| 東レエンジニアリング株式会社 | ||||||||||||
|
||||||||||||