2009年最終更新日：10/05/09
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過去のトピックス('98/7-'09/12)
2009年
| ■［展示会出展］ セミコンジャパン2009へ出展致しました。http://www.semiconjapan.org/sj-jp/index.htm 12/2～12/4 幕張メッセ
●出展社セミナー |
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■［講演］
以下の講演が行われました。
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■［講演］
以下の講演が行われました。
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■［論文掲載］
以下の論文が掲載されました。
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■［展示会出展］
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■［講演］
以下の講演が行われました。
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| ■［特許成立］ 表面形状測定装置 SP-500に搭載されているSBアルゴリズムが、日本特許として登録されました。 | |
■［展示会出展］
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■［講演］
以下の講演が行われました。
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■［論文掲載］
以下の論文が掲載されました。
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■［講演］
以下の講演が行われました。
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■［論文掲載］
以下の論文が掲載されました。
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2008年
■［講演］
以下の講演が行われました。
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■［展示会出展］
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■［新製品発表］
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■［記事掲載］
以下の論文記事が掲載されました。
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■［講演］
以下の講演が行われました。
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■［展示会出展］
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■［展示会出展］
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■［講演］
以下の公開講義が開催されました。
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■［記事掲載］
以下の論文記事が掲載されました。
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■［講演］
以下の講演が行われました。
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■［展示会出展］ ファインテック・ジャパン（フラットパネル・ディスプレイ研究開発製造技術展）に出展しました。
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■［講演］
以下の講演が行われました。
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2007年
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［展示会出展］ SEMICON Japan 2007に出展しました。ご来場有り難うございました。
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［講演］ 以下の講演・発表が行われ、優秀論文賞「小田原賞」第２位を受賞しました。
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［講演］ 以下の特別招待講演が行われました。
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［ニュース］ EJ Daily News 12月3日号、４日号に以下の記事が掲載されました。
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［講演］ 以下の講演・発表が行われました。
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［講演］ 以下の講演・発表が行われました。
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［特許成立］ 表面形状測定装置 SP-700に搭載されている透明膜測定アルゴリズムが、日本特許として登録されました。 |
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［展示会出展］ 第１８回マイクロマシン／ＭＥＭＳ展に出展しました。ご来場有り難うございました。
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［お知らせ］ 本サイトのURLが6月20日に変更されました。
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［展示会出展］ JPCA Show 2007 FPC技術展に出展しました。
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［講演］ 以下の講演・発表が行われました。
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［展示会出展］ ファインテック・ジャパン（フラットパネル・ディスプレイ研究開発製造技術展）に出展しました。多数のご来場ありがとうございました。
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［講習会］ 技術情報協会主催のセミナー 「表面形状・膜厚分布測定の正しい測定手法
および 上手な装置の取り扱い方」が開催されました。詳細は、こちら。 |
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［講演］ 以下の講演・発表が行われました。
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［講演］ 以下の講演・発表が行われました。
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［ニュース］ 2006年世界LCD製造装置メーカー売上高ランキングで当社が第７位に。 2003年9位、2004年9位、2005年の8位から、2006年はLCD製造装置売上高（見込）が45,000百万円となって、第７位にランクアップした模様。 |
2006年
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［展示会出展］ SEMICON Japan 2006に出展しました。多数のご来場ありがとうございました。
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［講演］ 以下の講演・発表が行われました。
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［新刊］ 以下の書籍が出版されました。いずれにも当社表面形状測定装置SP-500が紹介されています。
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［講演］ 技術情報協会主催のセミナー 「μ～ｎオーダーの表面形状・膜厚分布測定ノウハウ」が開催されました。詳細は、こちら。 |
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［講演］ 以下の講演が行われました。
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［展示会出展］ Semicon West(7/10-14;
サンフランシスコ）に出展しました。
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［講演］ 平成18年6月8日(木)-9日(金)、パシフィコ横浜ハーバーラウンジＢで開催された
「光応用技術シンポジウム Senspec2006」において、「光干渉計測と膜形状測定への応用」と題して講演しました。
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［講演］ 平成18年6月7日（水）、パシフィコ横浜展示場2階アネックスホールで開催された
「光計測シンポジウム2006」において、「白色干渉計測原理を用いたウエハ用自動バンプ検査装置による高精度バンププロセスの管理
」と題して講演しました。
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［展示会出展］ ファインテック・ジャパン（フラットパネル・ディスプレイ研究開発製造技術展）に出展しました。多数のご来場ありがとうございました。
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［プレスリリ－ス］新製品として、薄膜対応表面形状測定装置
SP-700を新聞発表しました。(2006/4/17)
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［講演］ 技術情報協会主催のセミナー 「光学部材・ディスプレイ・半導体における表面形状と膜厚分布測定技術」が開催されました。詳細は、こちら。 |
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［講演］ 以下の講演が行われました。
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2005年
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［展示会出展］ SEMICON Japan 2005に出展しました。 多数のご来場ありがとうございました。
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表面形状測定装置 "SP-500"の高さデータファイルを、三谷商事株式会社殿製「三次元表面形状解析システム
SurftopEye」で読み込めるようになりました。これにより、多彩な３次元表示や高度な粗さパラメータ計算が可能になりました。 |
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［講演］ 株式会社情報機構主催のセミナー 「光学部品、ディスプレイ、薄膜表面における微細表面形状の測定法」(11/30;
東京）で、表面形状測定装置SP-500と膜形状測定装置SP-500Fの詳細が講義されました。
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［カタログ展示］ ２００５年度
精密工学会秋季大会 (9/15-17;
京都大学）に表面形状測定装置 SP-500をカタログ展示しました。
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［展示会出展］ セミコン台湾 2005 (9/12-14;
台北国際展示場; 崇越科技ブース）にウエーハ外観検査装置‘Inspectra-EXII’を出展しました。ご来場、ありがとうございました。
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［展示会出展］ Semicon West(7/12-14;
サンフランシスコ）に出展しました。ご来場、ありがとうございました。
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［講演］ 平成17年6月8日（水）、パシフィコ横浜展示場2階アネックスホールで開催された
「2005光計測シンポジウム」において、「膜形状測定装置ＳＰ－500Ｆを用いた透明膜形状測定」と題して講演しました。
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［受賞］ FPD用異物検査装置 HS-830が、第10回アドバンスト ディスプレイ
オブ ザ イヤー２００５（ＡＤＹ）優秀賞を受賞しました。
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［展示会出展］ ファインテック・ジャパン（フラットパネル・ディスプレイ研究開発製造技術展）に出展しました。多数のご来場有り難うございました。
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［講演］ 次の技術発表を行いました。
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［講演］ 技術情報協会主催のセミナー 「光学部材・ＦＰＤ・半導体の微細表面形状・膜厚分布測定」で、表面形状測定装置SP-500と膜形状測定装置SP-500Fの詳細が講義されました。
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［展示会出展］ 国際ナノテクノロジー総合展に出展しました。多数のご来場有り難うございました。
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2004年
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［講演］ 次の講演を行いました。
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［展示会出展］ SEMICON Japan 2004に出展しました。多数のご来場有り難うございました。
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［カタログ展示］ 次の学会でカタログ展示しました。
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［講演］ 次の技術発表を行いました。
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［展示会出展］ 次の展示会に出展しました。ご来場、ありがとうございました。
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［お詫び］ ６月９日以来、本サイトの問い合わせのページ経由などでtorayins@mx.scn.tv宛に送信されたメールが届いていないというトラブルが発生しました。原因は、ウイルスメール蔓延のため、プロバイダのメールボックスがオーバーフローしたためです。本日、復旧しましたが、ご迷惑をお掛けした皆様にお詫びします。(2004.6.24)
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［展示会出展］ 次の展示会に出展しました。ご来場、ありがとうございました。
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［講演］ 次の技術発表を行いました。
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表面形状測定装置ＳＰ－５００の高速化アルゴリズム（ＳＢ法）が、「手島記念発明賞」を受賞しました。(2004/3/15)
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［講演］ 次の技術発表を行いました。
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2003年
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12月4-5日、パシフィコ横浜で開催された「ビジョン技術の実利用ワークショップ」において発表した論文「白色光干渉法による透明膜形状計測」が優秀論文賞「画像応用技術専門委員会
小田原賞」を受賞しました。(2003/12)
参考 |
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新製品として、自動バンプ検査装置
SP-500BWとウエーハエッジ検査装置
WE-1000を新聞発表しました。(2003/12) |
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［講演］ 次の技術発表を行いました。 |
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［プレゼン］ セミコン・ジャパンの出展者セミナーで、下記の発表をしました。ご来聴、ありがとうございました。
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［展示会出展］ 次の展示会に出展しました。ご来場、ありがとうございました。
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本サイトに、表面形状測定装置SP：応用例のページを新設しました。(2003/10) |
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9月16-17日、東京農工大で開催された第20回センシングフォーラム（計測自動制御学会主催）において、「白色干渉法による透明膜の形状・膜厚同時測定」を講演発表しました。(2003/9) |
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［展示会出展］ 次の展示会に出展しました。ご来場、ありがとうございました。
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昨年秋、表面形状測定装置 SP-500 の透明膜測定用ソフトウェアを発売し、ご好評を戴いておりますが、このたび、本ソフトウエア搭載の装置を「膜形状測定装置 SP-500F」の商品名で販売することに致しました。詳細は問い合わせのページからどうぞ。 (2003/3) |
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表面形状測定装置 "SP-500
"の高速化信号処理アルゴリズム（ＳＢ法）が、米国特許として登録されました。(2003/2) |
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2月26日、当社で開催された「ディジタル・イメージング実利用化研究会」で表面形状測定装置 "SP-500
"と、その膜厚測定への応用について講演発表しました。(2003/2) |
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ＦＰＤ基板外観検査装置
FI-500 を新聞発表しました。(2003/2)
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パターン付きウエーハ外観検査装置の次世代最新機種
INSPECTRA-1000EXを新聞発表しました。(2003/2)
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表面形状測定装置 "SP-500"用に開発された「透明膜（厚膜）測定アルゴリズム」による測定例を３Ｄミュージアムに掲載しました。ウエーハ上の酸化膜の膜厚、およびＬＣＤセルギャップの間隙分布を測定したものです。(2003/2) |
2002年
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表面形状測定装置 "SP-500"の高さデータファイルを、走査型プローブイメージプロセッサー“ＳＰＩＰ”（Image Metrology社製）で読み込めるようになりました。これにより、より多彩な３次元表示や高度な統計処理が可能になりました。“ＳＰＩＰ”の日本総代理店はこちらです。サンプル画像を３Ｄミュージアムに追加しました。(2002/12)
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［展示会出展］ SEMICON Japan 2002に出展し、無料セミナーも開催しました。多数の方に、ご来場いただき、ありがとうございました。 
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表面形状測定装置 "SP-500"の「透明膜（厚膜）測定アルゴリズム」を開発し、オプション・ソフトウェアとして発売しました。これにより、従来困難であった基板上の透明膜（数百nm以上）の表面形状、裏面形状、膜厚分布を同時測定することが可能になりました。(2002/11)
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表面形状測定装置SP-500シリーズの新しいカタログが完成しました。ご希望の方は、本サイトの問い合わせのページからお申し込み下さい。(2002/11)
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［展示会出展］ 次の展示会に出展しました。ご来場、ありがとうございました。
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［展示会出展］ 次の展示会に出展しました。ご来場、ありがとうございました。
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［展示会出展］  9/16～18 台湾台北市で開催されたセミコン台湾に出展しました。ご来場、ありがとうございました。 |
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表面形状測定装置"SP-500" 関連の新製品として、表面形状測定モジュール"SP-500M"、FPD用表面形状測定装置"SP-500L" を開発し、発売しました。(2002/8) |
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［展示会出展］ 下記の通り、SEMICON WESTに出展しました。 ・サンノゼ （7/17-19）：ブース＃９７１０Ａ （ボンダーなど） ・サンフランシスコ （7/22-24）：ブース＃６４５４ North Hall （検査機器、タイトラーなど）
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［展示会出展］  ファイン・プロセス・テクノロジー・ジャパン(7/3-5;東京ビッグサイト)に、新製品の「広視野表面形状測定装置SP-530」などを出展しました。また、会場内で、7月4日（木） 11:00～12:00に、『東レエンジニアリング検査装置セミナー』を開催し、「基板異物検査装置」、「ＦＰＤパターン検査装置」、「膜厚測定装置」、「表面形状測定装置」を紹介しました。多数のご来聴、ありがとうございました。 |
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［展示会出展］ ＪＰＣＡショー(6/5-7;東京ビッグサイト)に、新製品の基板表面形状測定装置SP-500Pなどをパネル出展しました。多数のご来場、ありがとうございました。 |
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［プレゼン］ ＪＰＣＡ Show ＮＰＩプレゼンテーション（出展者セミナー）で、下記の発表をしました。 日程 ： ６月６日（木） 15:40～16:10 会場 ： 東京ビッグサイト 東展示棟２階常設商談室 Ｅ会場 題目： ３次元形状検査装置を応用したバンプ検査装置（SP-500B） |
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米国ボストンで開催されたＳＩＤにおいて、基板異物検査装置HS-730を発表 5/19～5/24、Boston／Hynes Convention Centerで開催されたSociety
for Information Display（ＳＩＤ）において、"Next-Generation
Particle Inspection System HS-730 for FPD Glass Plates"と題して発表しました。また、併催の展示会にもパネル出展しました。 |
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［展示会出展］ マイクロエレクトロニクスショー（2002/4/17-19開催）に、バンプ検査装置SP-500Bをパネル出展しました。多数のご来場、ありがとうございました。 |
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［東京地区デモ］ （終了しました） ４月１５日から１週間の予定で、表面形状測定装置SP-500を東京地区に設置し、デモ＆サンプルテストをお引き受けします。概要は次の通りです。ご希望のお客様は、本サイトの問い合わせのページから、お早めにお申し込み願います。 ・期間：４月１５日（月）～１９日（金） ・場所：弊社東京オフィス（神田／日本橋） ・内容：装置デモ＆サンプルテスト（予約制；お客様別に約２～３時間） なお、これまで通り、瀬田工場（滋賀県大津市）でのデモ＆サンプルテストは可能です。
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表面形状測定装置 の新モデルとして、140万画素高精細カメラ対応モデル"SP-500HR"を開発し、発売しました。(2002/2/13)
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東工大
フロンティア創造共同研究センター（http://www.fcrc.titech.ac.jp）発行「東工大テクノロジー」最新号(Vol.4)に表面形状測定装置 "SP-500
"が紹介されました。 |
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東レエンジニアリング（株）エレクトロニクス事業本部のパンフレット「エレクトロニクス事業
概要」が発行されました。ご希望の方は、本サイトの問い合わせのページからお申し込み下さい。 |
2001年
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12月6-7日、パシフィコ横浜で開催された「外観検査自動化ワークショップ」で表面形状測定装置 "SP-500
"を講演発表し、優秀論文ベスト３に選ばれました。 |
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［展示会出展］ ・セミコンジャパン：2001/12/5-7、幕張メッセ［ブース 5-A202］ INSPECTRA、SP-500を出展しました。 ・画像処理機器展：2001/12/5-7、パシフィコ横浜［ブース 103］ SP-500を出展しました。 |
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10月3-4日、北大で開催された「センシングフォーラム」で表面形状測定装置 "SP-500
"を講演発表しました。 |
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9月22日、九州産業大学で開催された鉄鋼協会秋期講演大会シンポジウムで特別講演しました。 |
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［展示会出展］01/9/17-19、台北で開催されたセミコン台湾にウエーハ検査装置INSPECTRAなどを出展しました。 |
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このサイトのＵＲＬが
http://www.scn.tv/corp/torayins/ に変更されました。(2001/8/25) 上記をクリックし、移動後、お気に入りサイトに再登録願います。なお、当分は旧ＵＲＬの http://www.cable-net.ne.jp/corp/torayins/ も有効です。 |
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表面形状測定装置 "SP-500
"で使用されている信号処理アルゴリズムをサンジエゴで開催のSPIE 2001で講演発表しました。(2001/8/1) |
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新製品2機種、基板異物検査装置 "HSシリーズ"と表面形状測定装置 "SP-500DS"を新聞発表
（半導体産業新聞 2001/7/18付け） 基板異物検査装置の新シリーズ"HS series"と、表面形状測定装置の2倍速機"SP-500DS"を発売しました。また、ファインテックに出展しました。 |
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表面形状測定装置 "SP-500
"の発表論文が2001年度計測自動制御学会学会賞（技術賞）を受賞しました。（学会の会告：http://www.sice.or.jp/info/kaikoku/200110award.html） |
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［展示会出展］01/7/16-18、サンフランシスコで開催されたセミコン・ウエストに、表面形状測定装置 "SP-500
"を出展しました。［Booth
#-4235, Esplanade Hall］ |
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［展示会出展］01/7/17-19、東京ビッグサイトで開催されたフラットパネルディスプレィ製造技術展（ファインテック）に、ＦＰＤ関連検査機器を出展しました。 |
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［展示会出展］01/7/16-19、幕張メッセで開催されたインターオプトに、"SP-500
"をパネル出展しました。
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6月21日、香川大学で開催された電子情報通信学会
パターン認識・メディア理解(PRMU)研究会で特別講演しました。 |
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表面形状測定装置 "SP-500
"を6月6日、パシフィコ横浜で開催の光計測シンポジウム2001で講演発表しました。 |
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表面形状測定装置 "SP-500
"を国際学会で発表
５月１４～１７日、米国オーランドで開催された標本化定理に関する国際学会(SampTA 2001)において講演発表しました。 |
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表面形状測定装置 "SP-500
"を学会発表 ５月８～１０日、大阪で開催された第４５回システム制御情報学会研究発表講演会(SCI 2001)において講演発表しました。 |
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「検査装置事業が好調 今期売上高
過去最高の見込み」との新聞記事 （半導体産業新聞 2001/2/28付け） |
2000年
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00/12/6-8に幕張メッセで開催されたセミコンジャパンに、ウエーハ外観検査装置 "INSPECTRA 1000SX-III"と表面形状測定装置 "SP-500
"を出展しました。多数の方々のブース訪問、有り難うございました。 |
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技術専門誌「日経メカニカル」
2000年10月号のＦｏｃｕｓページに表面形状測定装置 "SP-500
"が紹介される |
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JETRO発行の英文月刊誌「New
Technology Japan」 2000年10月号に表面形状測定装置 "SP-500
"が新技術として紹介されました。 |
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基板異物検査装置"IQ-530"と表面形状測定装置 "SP-500
"を学会発表 ７月２６～２８日、九工大で開催された計測自動制御学会学術講演会(SICE 2000 in Iizuka)において、上記２つの製品について発表しました。 |
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新製品表面形状測定装置 "SP-500
"がＮＨＫーＴＶで紹介される 産学共同の成果の例としてＮＨＫの取材を受け、７月２５日の「クローズアップ現代」（大学からベンチャーは生まれるか？）で紹介されました。（総合 19:35；BS1 21:30） |
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新製品表面形状測定装置 "SP-500
"を新聞発表 （日刊工業新聞 2000/7/5付け） 世界最高速の白色干渉式表面形状測定装置を発売しました。本装置に搭載されている新しい信号処理アルゴリズムは、当社と東京工業大学とが共同発明したものです。半導体ウエーハバンプ、磁気ヘッド、ＦＰＤ基板、プラスティク・フィルム、光学部品などの３次元形状測定に最適です。 |
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00/7/5-7開催のファインテック展（東京ビッグサイト）に、ＦＰＤ関連検査機器を出展 異物検査装置、膜厚測定装置のほか、新製品である表面形状測定装置 "SP-500 "を展示しました。多数の方々のブース訪問、有り難うございました。 |
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東レ検査機器事業を東レエンジニアリング（株）に移管 本ホームページで紹介している検査機器は、2000年６月１日付けで、東レエンジニアリング（株）に事業移管されました。何卒、一層のご支援、ご鞭撻を賜りますようお願い申し上げます。 |
1999年
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99/12/1-3開催のセミコンジャパンに、ウエーハ外観検査装置INSPECTRAの新機種"INSPECTRA 1000SX-III"を出展
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99/6/30-7/2開催のファインテック展に、ＦＰＤ関連検査機器を出展 |
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異物検査装置 IQ-530を国際学会で発表 (99/02/04) |
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ウエーハ外観検査装置INSPECTRAの新機種を発売 (99/02) |
1998年
